一、產(chǎn)品?描述
二、產(chǎn)品功能
三、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | SJ5718-PR | ||
輪廓 參數(shù) | 測(cè)量 范圍 | X軸 | 0~100mm |
Z軸 | 0~300mm | ||
Z1軸 | ±30mm | ||
分辨率 | X軸/Z1軸 | 分辨率0.001μm | |
測(cè)量精度 | X軸 | ±(0.6+0.02L) μm,(L,mm) | |
Z1線性精度 | ±(0.6+0.05H) μm,(L,mm) | ||
曲率誤差(直徑) | ≤±(1.2+R/15)μm(R,mm) | ||
角度誤差 | ±1′ | ||
移動(dòng)速度 | X軸 | 0~20mm/s | |
Z軸 | 0~20mm/s | ||
粗糙度參數(shù) | 掃描速度(X掃描軸) | 0.05~5mm/s | |
直線度(X掃描軸) | ≤0.3μm/50mm,≤0.5μm/100mm | ||
測(cè)力 | 約30mN | ||
爬坡能力 | 上坡77º,下坡88º | ||
測(cè)量范圍 | Z0軸 | ±20µm~±400µm | |
傳感器類型 | 無軌式 | ||
適用測(cè)量范圍 | Ra0.1μm~Ra64μm | ||
測(cè)力 | 約1~2mN | ||
分辨率 | Z0軸 | 分辨率0.001μm | |
測(cè)量精度 | 示值誤差 | ≤±(5nm+2.5%A)μm | |
重復(fù)性 | ≤1nm(0.1-0.2μm方波粗糙度樣塊、標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊) | ||
掃描速度 | 0.05~0.5mm/s | ||
殘值噪聲/殘余輪廓 | ≤0.005μm | ||
測(cè)量參數(shù) | R粗糙度: Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm, S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr, 核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P輪廓參數(shù):Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, W波度輪廓參數(shù):Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr Motif參數(shù):R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL | ||
濾波器 | 高斯濾波器、2RC濾波器,相位修正濾波器 | ||
濾波長(zhǎng)度 | 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可選 | ||
評(píng)定長(zhǎng)度 | λc×3、4、5、6、7、8可選 | ||
儀器尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 800×450×1000(mm) | ||
儀器重量 | 約115Kg |