在需要無油泵時(shí)，XDS渦旋式干泵可出色地替代旋片泵。XDS渦旋式干泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，特別是采用了創(chuàng)新的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與各種潤(rùn)滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場(chǎng)合。
XDS系列渦旋式干泵具有創(chuàng)新的軸承護(hù)罩設(shè)計(jì)，可將真空環(huán)境與所有形式的潤(rùn)滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。
氣囊允許處理蒸汽，將應(yīng)用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅(qū)動(dòng)裝置控制著電機(jī)特性，可確保泵總是以轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)。
應(yīng)用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級(jí)泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，密封可保證的清潔和干燥真空，防止交叉污染 技術(shù)數(shù)據(jù) XDS5 XDS10 XDS35i 排量 50Hz 5.7 m3h-1 / 3.4 ft3min-1 11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 60Hz 6.7 m3h-1 / 4.0 ft3min-1 13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 峰值抽速1 50Hz 4.8 m3h-1 / 2.8 ft3min-1 9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 60 Hz 6.0 m3h-1 / 3.5 ft3min-1 11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 極限真空（總壓力） 1 x 10-2mbar / 8 x 10-3Torr 50Hz 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 60 Hz 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 水蒸汽的進(jìn)氣口壓力 50 mbar/38 Torr 35 mbar/23 Torr 35 mbar / 23 Torr 水蒸汽抽速– GB I 70 gh-1 70 gh-1 70 gh-1 水蒸汽抽速– GB II 200 gh-1 200 gh-1 240 gh-1 允許的出口壓力 1 bar 表壓/14 psig 1 bar 表壓/14 psig 0.2 bar gauge / 2.9 psig* 允許的進(jìn)氣口和氣鎮(zhèn)壓力 0.5 bar 表壓/7 psig 0.5 bar 表壓/7 psig 0.5 bar gauge / 7 psig 電機(jī)功率（1 相和3 相） 0.3kW 0.3kW 0.52 kW 電源連接器（1 相） IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C19 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度50/60 Hz 1500/1800 rpm 1500/1800 rpm 1750 rpm 重量 23 kg/51 lb 24.5 kg/54 lb 48 kg/105 lb 進(jìn)氣口法蘭 NW25 NW25 NW40 排氣口法蘭 NW25 NW25 NW25 噪音級(jí)別 50 Hz 時(shí)55 dBA 50 Hz 時(shí)55 dBA 57 dB(A) 振動(dòng) <4.5 mms-1 (rms) <4.5 mms-1 (rms) <4.5mms -1 (rms) 密封性（靜態(tài)） <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 工作溫度范圍 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
無需更換潤(rùn)滑油，也就消除了處置被污染的潤(rùn)滑油所需的費(fèi)用
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz
