利用優(yōu)異保溫效果的坩堝實現(xiàn)有機物材料的穩(wěn)定蒸發(fā),同時借助超高精度的石英晶振達到蒸發(fā)速率的確控制,矽碁科技可提供性能穩(wěn)定的有機物蒸發(fā)鍍膜機,主要用于有機物材料驗證,OELD器件鍍膜機,OPV器件鍍膜機,有機CMOS鍍膜機等。
技術參數(shù):
1 本底真空10-7 Torr;
2 電極蒸發(fā)束源爐,金屬坩堝,金屬電極式蒸發(fā)舟等;
3 IC6-光學鍍膜等級石英晶振測量膜厚;
4 與手套箱連接
5 Mask對準功能,機械對準或者CCD對準