為克服器件制造的設(shè)備空間限制,矽碁科技開發(fā)出適合2英寸晶圓的小型半導(dǎo)體制造平臺(tái)-Mini Line,配置靈活,占地面積小,運(yùn)行成本低。適用于科研和企業(yè)用戶教學(xué)和小批量器件制造。
優(yōu)勢(shì):
1 設(shè)備成本低;
2 運(yùn)行能耗低;
3 占地面積??;
4 制造效率高;
5 配置方式靈活;
可集成設(shè)備清單:
1 多靶槍磁控濺射
2 電子束蒸發(fā)
3 熱蒸發(fā)
4 PECVD
5 RIE
6 PEALD
7 ALE
8 Annealing
9 Plasma treatment