一、簡(jiǎn)介
1.1 概要
真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)，氣體通過(guò)激勵(lì)電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
1.2 產(chǎn)品特點(diǎn)
u 產(chǎn)品放置治具靈活多變，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品
u 水平電極設(shè)計(jì)，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
u 低耗能、耗氣產(chǎn)品。
u 便捷的收放板方式
u 真空系統(tǒng)集成，占地面積小
u 合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻
u 集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使操作更方便
1.3行業(yè)應(yīng)用
u 手機(jī)行業(yè)：TP、中框、后蓋表面清洗活化
u PCB/FPC行業(yè)：孔內(nèi)鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔
u 半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理
u 陶瓷：封裝、點(diǎn)膠前處理
u 表面粗化蝕刻：PI表面粗化、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除、ITO膜蝕刻
u 塑膠材料：Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化
u ITO涂覆前表面清洗
二、技術(shù)規(guī)格
2.1設(shè)備規(guī)格
電源系統(tǒng) | 射頻電源 | 中頻電源 | |
功率 | 0~1000W | 0~2000W | |
頻率 | 13.56MHz | 40KHz | |
真空系統(tǒng)
| 泵組 | 羅茨泵+單級(jí)旋片泵 | |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 | ||
材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） | ||
厚度 | 25mm | ||
密封性 | 級(jí)焊接密封 | ||
腔體內(nèi)部尺寸 | 590（W）*600(D)*660(H)mm | ||
電極板有效尺寸 | 575×510mm（寬×深） | ||
可用空間間距 | 34mm | ||
電極板布置方式 | 水平布置，可活動(dòng)抽取 | ||
工作托盤(pán) | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)） | ||
工作空間 | 8層 | ||
氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM | |
工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、四氟化碳?/span> | ||
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC | |
交付方式 | 7寸觸控屏幕 | ||
其它參數(shù) | 外形尺寸 | 1050×1750×1050mm（寬×高×深） | |
重量 | 350KG | ||
設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 | ||
2.2廠務(wù)規(guī)格要求
廠務(wù)規(guī)格要求 | |
交流電源規(guī)格 | 電源：AC380V，50/60Hz，5線，30A |
廠務(wù)排氣 | 流量：2.0 m3/min |
廠務(wù)工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管 純度：99.99%以上 |
廠務(wù)壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：8×5 mm 材質(zhì)：PU管 露點(diǎn)：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3 |
2.3 一般規(guī)格
一般規(guī)格 | |
危險(xiǎn)標(biāo)識(shí) | 高壓危險(xiǎn)標(biāo)識(shí) |
使用環(huán)境 | 溫度：15~30℃ 濕度：30~70% |
其他注意事項(xiàng) | 不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應(yīng)性粉塵 氣瓶需固定 |
