| 指標(biāo)特點(diǎn) | Elli-SE | μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer |
| 測(cè)量常數(shù) | 膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長(zhǎng)λ | 膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長(zhǎng)λ |
| 膜厚范圍 | 亞埃級(jí)-10微米（取決于膜層） | 亞埃級(jí)-10微米（取決于膜層） |
| 波長(zhǎng)范圍 |
240 ~ 1050 nm （紫外線） or 380 ~ 1050 nm 光譜范圍選項(xiàng)：Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
| 240 ~ 1050 nm（紫外線） 光譜范圍選項(xiàng)：Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
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| 測(cè)量能力 |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點(diǎn)（取決于膜層） |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點(diǎn)（取決于膜層）
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| 束斑直徑-尺寸 | 1.5 mm (可選 100μm, 50 μm, 20 μm) | 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm |
| 入射角 | 45°~90°（自動(dòng)變換角度） | 45°~90°（自動(dòng)變換角度） |
| 膜層數(shù)量 | 多至10層（取決于膜層） | 多至10層（取決于膜層） |
| 重復(fù)性 | 10次測(cè)量在(3σ) ±0.3 Å | 10次測(cè)量在(3σ) ±0.3 Å |
| 色散關(guān)系 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM 等 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM等 |
| 提供功能 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫 |
| 應(yīng)用 | 介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測(cè)量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 | 介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測(cè)量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 |
