Trimos TRscan非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x,全自動(dòng)共焦三維測(cè)量。專(zhuān)用于刀具制造工業(yè),根據(jù)多點(diǎn)譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動(dòng)聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點(diǎn)譜線共焦傳感器和圖像處理系統(tǒng),可以對(duì)各種復(fù)雜的刀刃及其模具進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量,具有完善的分析功能模塊,對(duì)其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測(cè)量。
主要特點(diǎn):
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強(qiáng)大的多點(diǎn)共焦技術(shù),準(zhǔn)確的測(cè)量出表面形貌數(shù)據(jù)(角度、半徑、輪廓、粗糙度)
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通過(guò)光學(xué)方式測(cè)量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shù)
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測(cè)量速度快,可整合成一個(gè)高效的在線測(cè)量系統(tǒng)
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適用于陡峭的斜面,爬坡角度高達(dá)85度
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垂直分辨率高達(dá)30nm
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TRSCAN是可同時(shí)獲得表面形貌和真實(shí)顏色信息的3D測(cè)量設(shè)備,測(cè)量更加精確靈活
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通過(guò)腳本自動(dòng)測(cè)量,更適用于批量測(cè)量,并生成圖形或數(shù)字報(bào)告
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粗糙度和輪廓測(cè)量符合EN/ISO4287標(biāo)準(zhǔn)
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可用于選定區(qū)域的面積及體積計(jì)算
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可選配轉(zhuǎn)臺(tái),實(shí)現(xiàn)三維掃面
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可用于復(fù)雜幾何外形的形狀分析,可測(cè)量角度、半徑等表面特征
技術(shù)參數(shù):
工作臺(tái)移動(dòng)范圍X | 100mm | ||
工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y | 固定式 | ||
工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸位移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導(dǎo)軌直線度 | 1.5μm | ||
工件重量 | 20kg | ||
測(cè)量原理 | 非接觸式多點(diǎn)譜線共焦傳感器 | ||
光源 | 白色LED共軸光,高強(qiáng)光,數(shù)字可控 | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測(cè)量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測(cè)量厚度 |