■高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?/strong>
●應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測長系統(tǒng)，開發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。
●動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，
是一款劃時(shí)代的產(chǎn)品。
■在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá) 已取得
●憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)。
●電子低振動(dòng)化穩(wěn)定，可以實(shí)現(xiàn)高倍率測定。
■只需一次測量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時(shí)提高測量效率。
■范圍大、自動(dòng)測量
●橫向200mm，縱向13mm，測量范圍大。
●可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部傾斜（SURFCOM CREST-T型號）
