技術(shù)參數(shù)
X1 軸
　測量范圍: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
　分辨率: 0.2μm
　檢測方法: 反射型線性編碼器
　驅(qū)動(dòng)速度: 0.2, 1mm/s 和手動(dòng)
　測量速度: 0.2, 0.5mm/s
　移動(dòng)方向: 向后
　直線度: 3.5μm/50mm (CV-1000),
3.5μm/100mm (CV-2000)
* 當(dāng)X 軸在水平方向上
　指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L 為驅(qū)動(dòng)長度(mm)
　傾斜范圍: ±45° (CV-2000)
Z2 軸(立柱，用于CV-2000)
　立柱類型: 電動(dòng)(S4 型) 和手動(dòng)(M4 型)
　垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
　分辨率: 0.2μm (S4 型)
　檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器 (S4 型)
　驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 5mm/s 和手動(dòng)Z1 軸 (檢測器)
　測量范圍: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)
　分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)
　檢測方法: 弧形編碼器
　指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm
　 (20° C 時(shí)) *H 為水平位置上的測量高度 (mm)
　測針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
　測針方向: 向下
　測力: 10 - 30mN
　跟蹤角度: 向上：77°、向下：87°
(根據(jù)表面粗糙度，
使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)
測針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)
基座材料: 花崗巖 (CV-2000)
重量: 5kg (CV-1000N2),
115.8kg (CV-2000M4),
124kg (CV-2000S4)
電源: 100 - 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 150W (主機(jī))

選件
218-024: 用于CV-1000 的立柱支架
(垂直行程：250mm、傾斜范圍：±45° )
218-001: 十字移動(dòng)工作臺(tái) (XY 范圍范圍：100 x 50mm)
218-011: 十字移動(dòng)工作臺(tái) (XY 范圍范圍：4" x 2")
218-041: 十字移動(dòng)工作臺(tái) (XY 范圍范圍：50 x 25mm)
218-051: 十字移動(dòng)工作臺(tái) (XY 范圍范圍：2"x 1")
218-002: 堅(jiān)固工作臺(tái)
176-107: 帶夾鉗的支架
218-003: 旋轉(zhuǎn)卡鉗 (重型)
172-144: 旋轉(zhuǎn)卡鉗
172-234: 帶夾鉗的V 型塊 (工件直徑小于：50mm)
172-378: 帶夾鉗的V 型塊 (工件直徑小于：25mm)
172-197: 旋轉(zhuǎn)式中心架
172-142: 中心支架
172-143: 中心支架向上裝置
178-023: 防震臺(tái)
178-024: 防震臺(tái)架
998862: 用于立柱的銷規(guī) (mm)
998861: 用于立柱的銷規(guī) (inch)
––––––: 測臂和測針 
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改