* 為區(qū)分交流電源電纜，在貨號(hào)后加上以下后綴:A 適于 UL/CSA, C 適于中國臺(tái)灣地區(qū), D 適于 CEE, DC 適于 CCC, E 適于 BS, K 適于KC, 無后綴適于 JIS/100V

技術(shù)參數(shù)
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
直線度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
          * 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20oC 時(shí)): ±(0.8+0.01L)μm (CV-4500S4, H4, W4)
                             ±(0.8+0.02L)μm (CV-4500S8, H8, W8)
                             * L = 驅(qū)動(dòng)長度 (mm)
傾斜范圍: ±45o
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 30mm/s 外加手動(dòng)
Z1 軸 (檢出器)
測(cè)量范圍: 60mm(± 30mm 水平位置上)
分辨率: 0.02μm
檢測(cè)方法: 弧形光柵尺
指示精度 (20oC 時(shí)): ±(0.8+I2HI/100)μm
                             * H: 為水平位置上的測(cè)量高度
測(cè)針方向: 向上／向下
測(cè)力: 10, 20, 30, 40, 50mN(數(shù)據(jù)處理程序)
跟蹤角度: 向上: 77o, 向下: 83o(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材質(zhì): 花崗巖
重量
主機(jī): 140kg (S4), 150kg (H4), 220kg (W4)
        140kg (S8), 150kg (H8), 220kg (W8)
電源: 100 - 120V AC ±10%,200 - 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機(jī))

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改