簡介：
三維云紋干涉儀是由云紋干涉光路和泰曼/格林干涉光路組合而成；將高靈敏度正交型光柵復制在試件的表面，并置于光路系統(tǒng)中，經(jīng)調(diào)試后可分別獲得兩個面內(nèi)位移場（U和V）和離面位移場（W）；激光是由單模光纖及耦合器分解和傳輸?shù)焦饴废到y(tǒng)中的；光路中置有PZT壓電晶體，通過驅(qū)動電源控制和驅(qū)動壓電晶體和反射鏡來實現(xiàn)相移技術，相移技術可以使測量靈敏度提高一個量級，儀器還附有加載系統(tǒng)及調(diào)節(jié)座；配以高溫爐可進行熱變形測量。
技術參數(shù)及圖例：
主要技術指標：
1、位移靈敏度： 面內(nèi)u & v 場： 417nm (1200 線/mm)，
離面 w場： 266nm (l/2)
2、相移靈敏度: ∽20nm/V
3、光場尺寸： 35×35mm
4、測試范圍： ≤20×20mm
5、條紋分辨率： 優(yōu)于1/20級條紋
6、測量應變范圍：10me~5%e
7、激光器： 單縱膜，20 mw， λ=532nm
8、圖像采集： CMOS攝像頭，分辨率 1280 x 1024，USB接口
9、加載系統(tǒng)： 拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式
主要配置：
1、 主機
2、 20mW半導體激光器：1個
3、 TS-1000USB攝像頭（內(nèi)置）：1只
4、 相移器：1個
5、 光纖：3根
6、 光纖耦合器：1套
7、 1200mm×800mm自動平衡隔振平臺：1套
8、 品牌液晶臺式電腦：1套(雙核處理器;2GB內(nèi)存;320GB硬盤;19寸寬屏液晶顯示屏)
9、 拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式：1套
10、軟件：1套
其他附件：
1、高溫恒溫箱
簡介：為配合高溫（≤300oC ）條件下的熱變形的非接觸光學測量，高溫恒溫箱配有可供觀察和測量的石英玻璃窗口。為不影響光學測量的精度，該玻璃是精密加工的。恒溫箱的溫度的穩(wěn)定性由控制器控制。恒溫箱固定在五維調(diào)節(jié)座上，可實現(xiàn)滿足光路要求的精準調(diào)節(jié)。
溫度：≤300oC, 靈敏度：±1oC
窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高溫石英玻璃
2、全息云紋光柵
簡介:用全息干涉系統(tǒng)和光刻技術值成的云紋光柵主要用于云紋干涉法變形測量。該光柵可以方便地轉(zhuǎn)移到試件的表面，將復制有試件柵的試件置于云紋干涉光路系統(tǒng)中可以獲得反映位移場的云紋干涉條紋。該光柵通常為正交型光柵，以獲得二維面內(nèi)位移場。全息干涉光路中采用了旋轉(zhuǎn)光源，因而有效地消除了散斑噪聲，提高了衍射效率。圖H-1所示為光柵在白光下的衍射彩色圖像；圖H-2所示為光柵在云紋干涉光路中的零場條紋圖。
性能和參數(shù)：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)
性能和參數(shù)：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)
正交性： π/2±0.5x10-4
衍射效率： 大于入射光強的10%
光柵面積： 50×50mm( 2×2in)
基底尺寸： 63×63mm(2.5×2.5in)
基底材料： 普通玻璃或超低膨脹率石英玻璃 (ULE)
零場： ≤1級條紋
光柵材料： 光刻膠鍍鋁膜
應用范圍：
云紋干涉法是一種非接觸測量面內(nèi)位移和應變場的方法，具有較為廣泛的應用范圍。
該技術可用于測量復合材料的殘余應力；測量微電子封裝組件熱疲勞，熱濕耦合，熱載荷引起的變形；可用于非接觸測量航空材料在高溫狀態(tài)下的力學性能；還可以應用于材料構件內(nèi)部的缺陷，裂紋的無損檢測。應用范圍非常廣泛。
