新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7II
検知対象ガス半導(dǎo)體材料ガス
ガス採気方式自動(dòng)吸引式
検知原理定電位電解式
質(zhì)量約1.3kg
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺(tái)で様々な半導(dǎo)體材料ガスを検知可能。
用途
半導(dǎo)體工場(chǎng)等毒性ガスを使用する現(xiàn)場(chǎng)で、ガス漏洩検査や濃度測(cè)定に。
新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7II
新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7II
半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀XPS-7II
型式 | XPS-7II |
検知対象ガス | 半導(dǎo)體材料ガス |
ガス採気方式 | 自動(dòng)吸引式 |
検知原理 | 定電位電解式 |
質(zhì)量 | 約1.3kg |
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺(tái)で様々な半導(dǎo)體材料ガスを検知可能。
用途
半導(dǎo)體工場(chǎng)等毒性ガスを使用する現(xiàn)場(chǎng)で、ガス漏洩検査や濃度測(cè)定に。
特長(zhǎng)
*ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺(tái)で様々な半導(dǎo)體材料ガスを検知可能。
*カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時(shí)間とコストを削減。
*NF3検知対応。NF3検知に対応したポータブルタイプ吸引式ガス検知器としてはZUI小サイズ。
*重さわずか1.3kgの小型?軽量タイプ。
*ガス?jié)舛趣螇浠摔瑜辍⒕瘓?bào)音（斷続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
型式 | XPS-7II |
検知対象ガス | 半導(dǎo)體材料ガス |
ガス採気方式 | 自動(dòng)吸引式 |
検知原理 | 定電位電解式 |
検知範(fàn)囲 | 仕様による |
分解能※1 | フルスケールの100分の1または200分の1表示 |
指示精度※2 | FS±10％以內(nèi) |
警報(bào)方式 | ブザー（斷続音）、アラームランプ點(diǎn)滅 |
応答時(shí)間 | 60秒以內(nèi)（60％応答） |
使用溫度範(fàn)囲 | 0℃～+40℃ |
電源 | 単3形アルカリ乾電池4本、またはAC専用アダプタ（オプション） |
連続使用時(shí)間※3 | アルカリ乾電池使用時(shí)：12時(shí)間以上※4（無警報(bào)時(shí)、20℃の場(chǎng)合） |
外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
重量 | 約1.3kg |
標(biāo)準(zhǔn)付屬品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
オプション※5 | AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通電臺(tái)、ログデータ収集キット |
※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測(cè)定條件による。
※3 環(huán)境條件、使用條件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場(chǎng)合があります。
※4 NF3センサユニット搭載時(shí)は8時(shí)間以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通電臺(tái)はCE対象外になります。
