新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體探測儀XP-703DIII
検知対象ガス半導(dǎo)體材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素）
ガス採気方式自動吸引式
検知原理熱導(dǎo)體式
質(zhì)量約190g（電池、レザーケース含む）
半導(dǎo)體材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導(dǎo)體工場等毒性ガスを使用する現(xiàn)場でのガス漏洩検査に。水素関連設(shè)備の保安に。
新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體探測儀XP-703DIII
新宇宙NEW-COSMOS半導(dǎo)體材料氣體探測儀XP-703DIII
型式 | XP-703DIII |
検知対象ガス | 半導(dǎo)體材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素） |
ガス採気方式 | 自動吸引式 |
検知原理 | 熱導(dǎo)體式 |
質(zhì)量 | 約190g（電池、レザーケース含む） |
半導(dǎo)體材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導(dǎo)體工場等毒性ガスを使用する現(xiàn)場でのガス漏洩検査に。水素関連設(shè)備の保安に。
用途
半導(dǎo)體工場等毒性ガスを使用する現(xiàn)場でのガス漏洩検査に。水素関連設(shè)備の保安に。
特長
*半導(dǎo)體材料ガスの微量なガス漏れを検知。
*ガス?jié)舛趣螇浠摔瑜?、警報音（斷続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
*1臺でさまざまな半導(dǎo)體材料ガス（アルシン?ホスフィン?シボラン?シラン?水素など）に対応。
*従來品より大幅に小型?軽量化を?qū)g現(xiàn)。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
*電池殘量やポンプの狀態(tài)など、機(jī)器の狀態(tài)がわかりやすいLCD畫面を搭載。
*アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業(yè)中に警報がわかりやすい。
*保護(hù)等級IP22（JIS C 0920）相當(dāng)※?！?span>※レザーケース裝著時
仕様
型式 | XP-703DIII | ||||
検知対象ガス | 半導(dǎo)體材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素） | ||||
ガス採気方式 | 自動吸引式 | ||||
検知原理 | 熱導(dǎo)體式 | ||||
アルシン | ホスフィン | ジボラン | シラン | 水 素 | |
検知可能 | 2.53×10－7 | 1.52×10－7 | 1.01×10－7 | 2.53×10－7 | 5.07×10－7 |
検知可能濃度 | 0.5 ppm | 0.3 ppm | 0.2 ppm | 0.5 ppm | 1.0 ppm |
応答時間 | 10秒以內(nèi)（探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設(shè)定[4]） | ||||
表示方式 | 斷続音及びアラームランプの點滅 | ||||
電源 | 単3形アルカリ乾電池2本 | ||||
連続使用時間※1 | 約12時間（単3形アルカリ乾電池）[常溫?常濕において] | ||||
保護(hù)等級※2 | IP22相當(dāng) | ||||
使用溫度範(fàn)囲 | 0℃～+40℃ 85%RH以下（但し、結(jié)露なきこと） | ||||
外形寸法 | W38×H130×D32mm（突起物を除く） | ||||
質(zhì)量 | 約190g（電池、レザーケース含む） | ||||
標(biāo)準(zhǔn)付屬品 | レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、アタッチメント、點検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本 等 | ||||
