Aerotech ABRS-ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

1.Aerotech ABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)概述

Aerotech 制造了龐大的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)品線供您選擇，型號(hào)包括使用我們自己的內(nèi)置無刷旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，以及蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的定位轉(zhuǎn)臺(tái)。

其中精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)包括精密空氣(氣浮)軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)和精密機(jī)械軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)。轉(zhuǎn)臺(tái)具有許多不同尺寸的通孔直徑、臺(tái)面直徑以及安裝選項(xiàng)，為您的工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用提供理想的解決方案。

平臺(tái)的擺動(dòng)、跳動(dòng)、角度定位和速度穩(wěn)定性都非常出色。

Aerotech 的定位平臺(tái)非常適合用于工業(yè)機(jī)器人、光纖光學(xué)和光子學(xué)、視覺系統(tǒng)、機(jī)床、裝配、半導(dǎo)體設(shè)備、醫(yī)護(hù)部件激光加工、超精密微細(xì)加工、硅片檢查、電子制造業(yè)、hang空電子設(shè)備等性能高應(yīng)用以及其他工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用。

此外， Aerotech 制造的性能高驅(qū)動(dòng)器和控制器可與我們的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)匹配，為您提供*的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。

分辨率可達(dá) 0.027-5.5 arc-sec

雙向重復(fù)性小于 1 arc-sec

定位精度可達(dá) ±2 arc-sec

ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。

ABRT-400 可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。

Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的?？諝廨S承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。

ABRT-400 可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。

特點(diǎn)規(guī)格

● 精度： < 0.6微弧度（ < 0.12弧秒）

● zui小增量步距： 0.035微弧度（ 0.007弧秒）

● 重復(fù)性： < 0.4微弧度（ < 0.08弧秒）

● 軸向運(yùn)動(dòng)誤差： < 50納米同步; < 10納米異步

● 徑向運(yùn)動(dòng)誤差： < 75納米同步; < 10納米異步

空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸

ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的?？諝廨S承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。

ABRT-400可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應(yīng)用。

ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)

Aerotech 的 ABRS 系列旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺(tái)提供*的角度定位，速度穩(wěn)定性和低運(yùn)動(dòng)誤差性能在一個(gè)非常低矮的封裝結(jié)構(gòu)中。ABRS旨在滿足晶片檢查，高精度計(jì)量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造，以及微機(jī)電系統(tǒng)/納米器件的制造等應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。

Aerotech ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供出色的角度定位，速度穩(wěn)定性運(yùn)動(dòng)性能，并且擁有非常低矮的外形。

● 直驅(qū)無刷無槽伺服電機(jī)

● 非機(jī)械接觸

● 零齒槽效應(yīng)電機(jī)帶來顯著的速度穩(wěn)定性

● 顯著的無抖動(dòng)運(yùn)動(dòng)特性

● 直接耦合的高精度編碼器

● 扁平設(shè)計(jì)的低矮外形

● 直徑：128.1-278.1 mm

● 分辨率： 0.036-0.18 arc-sec

● 雙向重復(fù)性：< 1 arc-sec

● 定位精度：±2 arc-sec

ARA1000空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定，限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過設(shè)計(jì)，顯著提高了平臺(tái)剛性，消除了這個(gè)問題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式，其允許非常容易地進(jìn)行卡盤安裝。

Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定，限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過設(shè)計(jì)，顯著提高了平臺(tái)剛性，消除了這個(gè)問題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式，其允許非常容易地進(jìn)行卡盤安裝。

特點(diǎn)規(guī)格

● 高承載能力

● 高剛性

● 直接驅(qū)動(dòng)無刷無槽伺服電機(jī)

● 大孔徑

● 與AVL1000升降平臺(tái)輕松配置多軸應(yīng)用

ABRS旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái)

1專為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)

2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無接頭效應(yīng)）

4*的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

7無機(jī)械接觸

臺(tái)面直徑128.1-278.1mm

分辨率0.18-0.036arcsec

雙向重復(fù)定位精度<1arcsec

ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái)

1專為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)

2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，高扭拒輸出

3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無接頭效應(yīng)）

4*的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

6超大的空心軸徑，無機(jī)械接觸

臺(tái)面直徑100-200mm

分辨率0.055-0.027arcsec

雙向重復(fù)定位精度<1arcsec