Aerotech納米級(jí)直線定位平臺(tái)
ANT95-L系列納米平移臺(tái)
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率(1納米),重復(fù)定位精度(50納米),定位精度(250納米)
3.納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)特性
ANT95-XY系列雙軸納米平移臺(tái)
1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
3.高分辨率(1納米),重復(fù)定位精度(50納米),定位精度(250納米)
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動(dòng)態(tài)特性
ANT95-L-Z系列納米垂直平移臺(tái)
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率(2納米),重復(fù)定位精度(75納米),定位精度(300納米)
3.5納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)特性
ANT95-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
1.高分辨率(0.01角秒)
2.性能高
3.*的跳動(dòng)指標(biāo)
4.*的定位性能
5.高動(dòng)態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
ANT130-L系列納米平移臺(tái)
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率(1納米),重復(fù)定位精度(50納米),定位精度(250納米)
3.3納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
ANT130-XY系列雙軸納米平移臺(tái)
1.結(jié)構(gòu)緊湊的納米平移臺(tái)
2.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
3.高分辨率(1納米),重復(fù)定位精度(50納米),定位精度(250納米)
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動(dòng)態(tài)特性
ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺(tái)
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率(2納米),重復(fù)定位精度(75納米),定位精度(300納米)
3.5納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)特性
ANT130-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
1.高分辨率(0.01角秒)
2.性能高
3.*的跳動(dòng)指標(biāo)
4.*的定位性能
5.高動(dòng)態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
ANT180-L系列納米平移臺(tái)
1.非接觸,無齒槽,無摩擦,直接驅(qū)動(dòng)
2.零背隙,無磁滯現(xiàn)象
3.抗爬行十字交叉滾珠軸承
4.高達(dá)360毫米行程
5.高分辨率(1納米),重復(fù)定位精度(100納米),定位精度(150納米)
6.完整的多軸電纜管理系統(tǒng)