PAC Alcor開發(fā)了超快速“橢圓偏振法航煤氧化加熱管操作簡單, 數據輸出、儲存方便掃描評定儀”(簡稱OptiReader)。該儀器通過全2D和3D厚度掃描技術測定加熱管上沉積厚度和體積, 得出快速、精確和準確的“合格/不合格”評定結果。操作界面簡單、直觀,可入門,為用戶節(jié)約時間和成本。
無需培訓
操作簡單、入門
10.8 英寸彩色觸摸屏,直觀又簡便
一鍵式操作
無須目測確認
操作簡單, 數據輸出、儲存方便
高精準度
優(yōu)于ASTM D3241方法
通過一套( 5 支)原子層沉積標準管 (ALD)驗證結果
重復性小于2nm, 再現(xiàn)性小于4nm
在評定中最小化人為錯誤
數值掃描
顯示 合格/不合格 評定結果
可測量加熱管沉積厚度和沉積體積
JFTOT & OptiReader 數據一致的報告
擁有智能加熱管的數據集成技術
評定
10分鐘內完成全掃描
自動結果驗證