3 種頻率選件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz,可升級
±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍(10% 測量精度范圍)
測量參數(shù):|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要選件 001)
內(nèi)置直流偏置(選件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線
數(shù)據(jù)分析功能:等效電路分析、極限線測試
介電/磁性材料測量(選件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
提供溫度特征測量(選件 007)和可靠的晶圓上測量(選件 010)