主要特性與技術指標
3 種頻率選件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz,可升級
±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍(10% 測量精度范圍)
測量參數(shù):|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要選件 001)
內(nèi)置直流偏置(選件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線
數(shù)據(jù)分析功能:等效電路分析、極限線測試
介電/磁性材料測量(選件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
提供溫度特征測量(選件 007)和可靠的晶圓上測量(選件 010)
描述
E4991B 阻抗分析儀具有 1 MHz 至 3 GHz 的頻率范圍,可在寬阻抗范圍內(nèi)提供 0.65% 的基本精度,并且內(nèi)置 40 V 直流偏置源(選件 001)。等效電路分析功能支持 7 種不同的多參數(shù)模型,可幫助您仿真元器件的等效參數(shù)值。
3 種頻率選件(1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz)以及頻率升級選件使您可以根據(jù)當前的投資額度選購更適合的選件。
材料測量選件提供溫度特征分析功能(選件 007),并能夠直接得到介電常數(shù)和導磁率的讀數(shù)(選件 002)。
探頭臺連接套件(選件 010)可以在高達 3 GHz 的頻率范圍內(nèi)提供精確的晶圓上或微型元器件阻抗測量解決方案。
E4991B 支持多款測試附件,讓測量變得簡單而可靠。
無論您是從事研發(fā)、質(zhì)保還是質(zhì)檢工作,E4991B 都可以幫助您出色地表征和測試電子元器件、半導體器件和材料。
在材料測量方面,E4991B 與 N1500A-005 材料測量套件相結合,能夠非常容易地完成從設置夾具到生成報告的整個測量過程(高達 1 GHz)。