（HCl）是一種重要的化工原料，具有的腐蝕性，劇毒。高精度ProCeas®（HCl）分析儀專為準(zhǔn)確測量大氣和潔凈空間環(huán)境中低本底而設(shè)計，具有檢測低限低、測量精度高、漂移小的特點。ProCeas®（HCl）分析儀是一款*預(yù)校準(zhǔn)的紅外激光光譜氣體分析儀，基于光反饋腔增強吸收光譜（OF-CEAS）來加強分析目標(biāo)的特異性、分辨性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。該分析儀能以更高的精度測量氣體，具有較高的采集頻率（1Hz），25ml的測量腔室有利于在較低的氣體流速下獲得較高的周轉(zhuǎn)速率，更能保證獲得準(zhǔn)確的壓力和溫度控制，特殊設(shè)計的低吸附管路和測量腔能進一步提高設(shè)備的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
ProCeas® （HCl）分析儀是一套完整、可靠、耐用、易操作的高精度的在線分析儀，可應(yīng)用化工園區(qū)、制藥廠、水泥廠、垃圾焚燒等環(huán)境監(jiān)測，也能用于半導(dǎo)體工業(yè)等生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生氣體的實時在線監(jiān)測。
技術(shù)原理
腔增強吸收光譜（Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy, CEAS）是基于傳統(tǒng)光腔衰蕩光譜技術(shù)（Cavity Ring-Down Spectroscopy，CRDS）技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展的一種高靈敏度檢測技術(shù)。腔增強吸收光譜（CEAS）技術(shù)基于高品質(zhì)光學(xué)諧振腔的弛豫效應(yīng)，通過諧振來延長有限腔體內(nèi)的光譜吸收有效路徑，依據(jù)鏡面反射率，其有效吸收路徑可達幾十千米，大大提高了檢測靈敏度。與傳統(tǒng)的CRDS不同，CEAS 測量的是經(jīng)過諧振腔的透射光強，而CRDS 測量的是光強的衰減時間。CEAS在保持測量精度的同時，無需對激光進行快速關(guān)斷，使得光譜分析儀結(jié)構(gòu)更為簡潔、系統(tǒng)更為穩(wěn)定。光反饋（Optical-feedback，OF）是CEAS鎖定的一種有效方法。
AP2E擁有OF-CEAS技術(shù)（WO），同時擁有的低壓采樣技術(shù)（WO2010058107），二者的結(jié)合，為高品質(zhì)氣體采樣和分析提供了技術(shù)保障。主要特點
- 直接抽氣測量，無需樣品預(yù)處理
- 具有自校準(zhǔn)功能，無需跨度標(biāo)準(zhǔn)氣
- 結(jié)構(gòu)簡潔，系統(tǒng)穩(wěn)定，無事實漂移
- 的低壓取樣，防止冷凝水侵?jǐn)_
- 通過替代材料驗證測量，品質(zhì)優(yōu)異
- 運行平穩(wěn)，以年為周期的維護需求
性能指標(biāo)
| 低本底 HCL 測量 | |
| HCL 低檢出限（3σ, 300s） | 1 ppb |
| HCL 精度（1σ，300s） | 0.3 ppb + 0.1%讀數(shù) |
| HCL 測量范圍 | 0~1000 ppb |
| 低檢出限（3σ, 300s） | 180 ppm |
| H2O 精度（1σ，300s） | 60 ppm |
| H2O 測量范圍 | 0 ~ 5% |
| HCL 零點漂移(72h) | ± 0.20 ppb |
| 測量間隔 | 2 s |
| 響應(yīng)時間/下降時間（10-90%） | < 300 s |
| 系統(tǒng)規(guī)格 | |
| 技術(shù)原理 | OF-CEAS (WO ) |
| 高反射鏡 | 3面高反鏡，反射率>99.999% |
| 測量腔溫度控制 | ± 0.002 K @ 1s & 0.00005 K @ 30 min |
| 測量腔壓力控制 | ± 0.016 mbar |
| 取樣溫度 | -10 ~ 45 °C (temperature) |
| 取樣濕度 | < 99% RH，無冷凝 |
| 取樣流速 | > 400 ml/min |
| 數(shù)據(jù)輸出 | 以太網(wǎng)，ModBus (TCP/IP, RS)，模擬，USB |
| 供電 | 110 ~ 230 VAC, 50 ~ 60 Hz |
| 功耗 | 150 VA |
| 尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)19英寸機架，4U |
| 重量 | 20kg |
生產(chǎn)廠家：法國 AP2E
