SQC-310(C) 薄膜沉積控制器
高精度連續(xù)鍍膜控制或共鍍膜控制—來自技術*者
具有*的電子學,改進的顯示器,和非常高的性價比,INFICONSQC310系列為您提供其它生產廠薄膜控制儀所沒有的性能與特色,同時可為您的應用選擇理想的模式:順序鍍膜(SQC310)或并行鍍膜(SQC310C)。用于順序鍍膜,SQC310裝備有2個傳感器輸入,2個源輸出,和8個數字輸入/輸出,提供為這些數量加倍的擴展插件板選件。 用于并行鍍膜,SQC310C控制儀監(jiān)測多至4個石英晶體傳感器,帶有4個PID控制輸出,16個數字輸入和16個繼電器輸出,,與SQC310 的規(guī)范相同。
性支持: 我們的專長是您的競爭*性 INFICON 的辦事處遍布, 是可提供您就地服務和性技術支持 — 包括提供 SQC310 系列的全部附件,如傳感器, 饋入件和輔件的薄膜鍍層控制儀制造商。訂購 SQC310 系列儀器 — 或任何其它 INFICON 產品 — 不管您在何處, 您將得到迅速的答復,親臨現場的服務和*大的設備正常運行時間。
特點
■ 高亮度,?VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文. ■ 標準RS-232和USB(有以太網選件). ■ 易設置和操作,有“快速設置” 菜單,6個上下文-敏感的按鈕,和方便的參數設定旋鈕.
■ Windows® 程序用于開發(fā),測試,和下載工藝過程, 和將儀器數據記錄至您的PC上, 用于過程分析與質量控制. ■ 準確的過程控制,尤其用于低淀積率,在10 讀值/秒時的分辨率為±0.03Hz,在0至50°C溫度范圍內的頻率穩(wěn)定性為±2ppm. ■ 貯存容量高至100個工藝過程,1,000個膜層,50 個膜系. ■ 用單傳感器或多傳感器監(jiān)測源材料, 提供準確的源分布監(jiān)測.