Aerotech精密氣浮直線平臺

1.Aerotech精密氣浮直線平臺概述

AEROTECH設(shè)計和制造性能高的運動控制和定位系統(tǒng)。用戶覆蓋世界各地的工業(yè)，科學(xué)和研究機構(gòu)。AEROTECH精密的運動控制產(chǎn)品（motion control products）成功應(yīng)用于醫(yī)護設(shè)備和生命科學(xué)，半導(dǎo)體和平板顯示，Jun事/hang空宇宙，電子制造和測試，汽車等行業(yè)。

從1970年起，AEROTECH就為用戶設(shè)計和制造性能高的運動控制（motion control）和定位系統(tǒng)（pоsitioning systems）。用戶覆蓋世界各地的工業(yè)，科學(xué)和研究機構(gòu)。AEROTECH精密的運動控制產(chǎn)品（motion control products）為當(dāng)前要求苛刻的市場如:

   醫(yī)護設(shè)備和生命科學(xué)(medical device and life sciences)，

   半導(dǎo)體和平板顯示(medical device and life sciences)，

   光子學(xué)(photonics)，

   汽車(automotive)，

   數(shù)據(jù)存儲(data storage)，

   激光處理(laser processing)，

   Jun事/hang空宇宙(military/aerospace)，

   電子制造和測試(electronic manufacturing and test)，

   裝配(assembly)，

   研究和開發(fā)(research and development)，及其他需要高精度，高生產(chǎn)能力運動解決方案的應(yīng)用提供了高的性能。

   AEROTECH承諾始終如一的推進產(chǎn)品進步，高附加值服務(wù)能力作為座右銘。“奉獻運動科學(xué)”總是指引AEROTECH努力發(fā)展，使提供的產(chǎn)品和服務(wù)具有：

1） 購買成本很低

2） 生產(chǎn)能力很高

3） 精que性很高

4） 投資匯報率很好

  AEROTECH的發(fā)展歷程（Aerotech Timeline）展示了承諾的成效。獲得的獎勵表明AEROTECH的努力得到工業(yè)界同行和同僚認可并為此而感到欣慰。

  AEROTECH堅信：出眾的運動控制系統(tǒng)開始于設(shè)計和制造技術(shù)高超的零件。別的供應(yīng)商把通用零件集成在他們的運動系統(tǒng)里聲稱賣的是優(yōu)異系統(tǒng)。而一套AEROTECH的系統(tǒng)是以AEROTECH的運動零件開始的，他們已經(jīng)在同類中是*的，而且是為實現(xiàn)性能高，zui小成本特別設(shè)計的。從技術(shù)高超的零件到性能高的子裝配到*的高度集成的子系統(tǒng)。AEROTECH在滿足您的應(yīng)用要求方面遠勝于競爭對手。

  所有產(chǎn)品性能在產(chǎn)品線的深度和寬度上是有余格的。能“1站式”提供給用戶快速有效的解決方案。

  從獲獎的Automation 3200   32軸運動，視覺，PLC,機器人和I/O網(wǎng)絡(luò)到系列單軸和多軸基于PC的和獨立運動控制器，AEROTECH提供一整套適合應(yīng)用要求的控制方案。AEROTECH制造大選擇范圍性能高無刷直線和旋轉(zhuǎn)電機及線性驅(qū)動器。  

   AEROTECH的定位平臺范圍從經(jīng)濟的滾珠絲杠和齒輪傳動的直線和旋轉(zhuǎn)平臺到性能高的直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)平臺，直線電機為基礎(chǔ)的笛卡兒坐標(biāo)龍門系統(tǒng)，單軸和多軸氣浮系統(tǒng)，F(xiàn)iberMax, FiberAlign和全范圍的納米定位平臺。

  如果您找不到適合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，AEROTECH可以為您定制運動零件和系統(tǒng)，其技術(shù)和能力在業(yè)界是的。提供真空和無塵環(huán)境下的產(chǎn)品有悠久的歷史，這使定制能力更進一步。

  從概念到zui終驗證，AEROTECH的工程師和技術(shù)團隊用他們的專長和技能，和AEROTECH已經(jīng)過驗證的產(chǎn)品和運動控制和定位技術(shù)，保證定制的工程系統(tǒng)成功。*的分析和診斷能力能為用戶提供很高水平的工程和服務(wù)支持，提供超水平的附加值服務(wù)。

  AEROTECH忠實地支持世界范圍的客戶。遍布美國各地的實地銷售和工程辦公室，在世界設(shè)立的代表機構(gòu)數(shù)量不斷增長。在英國、德國和日本有運行全部的銷售和服務(wù)的機構(gòu)。

2.Aerotech精密氣浮直線平臺系列

1）ABL1000氣浮平臺

1專為性能高校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計

2分辨率達2nm的直線編碼器反饋

3閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)

4全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

5低噪音線性放大器

6全部非接觸設(shè)計

行程≤150mm

精度±0.20um

重復(fù)定位精度±0.05um

直線度±0.25um

2）ABL1500直線電機平臺

1專為性能高掃描和檢測應(yīng)用設(shè)計

2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋

3全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

4大負載高剛性幾何特性很好

行程≤500mm

精度±0.20um

重復(fù)定位精度±0.10um

直線度±0.25um

平面度±0.25um

3）ABL2000氣浮平臺

1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計

2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出

3直線編碼器或激光干涉儀反饋

4行程達1.2米

5全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

6全部非接觸設(shè)計

行程≤1200mm

精度±0.50um

重復(fù)定位精度±0.20um

直線度±0.25um

平面度±0.25um

4）ABL3600氣浮平臺

1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測應(yīng)用設(shè)計

2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)

3非接觸直線編碼器反饋,精度高

4雙直線電機驅(qū)動XY軸

5所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

行程≤250mm

精度±1um

重復(fù)定位精度±0.20um

直線度±0.50um

平面度±1um

5）ABL8000氣浮平臺

1專為有效負載大,負載重xin偏離機架中心線的應(yīng)用設(shè)計

2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性很好

3所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

4行程達1米

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)

行程≤1000mm

精度±0.50um

重復(fù)定位精度±0.20um

直線度±0.40um

平面度±0.40um

6）ABL9000氣浮平臺

1世上性能高的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合

2所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)

3行程達1.2米X1.2米

4Y軸雙直線電機驅(qū)動

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

6主動控制偏轉(zhuǎn)

行程≤1200mm

精度±0.50um

重復(fù)定位精度±0.10um

直線度±0.50um

平面度±0.50um

7）AHL9000直線電機平臺

1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計

2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承

3行程達1.2米X1.2米

4雙直線電機驅(qū)動步進軸

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

行程≤350mm

精度±1.0um

重復(fù)定位精度±0.20um

直線度±0.60um

平面度±0.60um

8）ABG10000氣浮平臺

1氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運動

2所有軸都預(yù)加載荷

3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動

3行程達1mx1m

4非接觸直線編碼器(光柵)

5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱

6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．

行程≤1000mm

精度±2um

重復(fù)定位精度±0.5um

直線度±1um

平面度±1um

3. Aerotech精密氣浮直線平臺應(yīng)用

超精密加工

超精密平臺

超精密檢測