概述
BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。
功能和優(yōu)勢(shì)
- 與密封 VAT 合作。
- 不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得的設(shè)計(jì)，使用
- 簡(jiǎn)單的無(wú)油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
- 可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無(wú)需進(jìn)行壓力平衡
- 維修方便，只需要的易耗品，低運(yùn)行成本
- 表面光滑，易于清潔
- 提供時(shí)已安裝螺線管和電線，便于訂購(gòu)和安裝
- 即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。
數(shù)據(jù)
| 泄漏值 | |
| 殼體 | < 1 x 10-9 mbar ls-1 |
| 閥座 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 |
| 壓力范圍 | 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara |
| 插板上的壓差 | 1.2 bar（在任一方向上） |
| 打開(kāi)時(shí)的壓差 | 1 bar |
| **檢修前的循環(huán)數(shù) | 5, 000 |
| 高工作溫度 | |
| 閥體 | 120 °C |
| 手動(dòng)執(zhí)行器 | 80 °C |
| 氣動(dòng)執(zhí)行器 | 80 °C |
| 位置指示器 | 60 °C |
| 螺線管閥 | 50 °C |
| 分子流電導(dǎo) | |
| NW50 | 300 ls-1 |
| ISO63 | 400 ls-1 |
| ISO80 | 1100 ls-1 |
| ISO100 | 1700 ls-1 |
| ISO160 | 4600 ls-1 |
| 重量 | |
| NW50 | 3.3 kg (7.3 lbs) |
| ISO63 | 6.6 kg (14.6 lbs) |
| ISO80 | 7.0 kg (15.4 lbs) |
| ISO100 | 8.5 kg (18.7 lbs) |
| ISO160 | 17.7 kg (39.0 lbs) |
| 構(gòu)造材料： | |
| 殼體 | AISI 304 不銹鋼 |
| 閥蓋 | 黑色陽(yáng)極化鋁 |
| 插板 | AISI 304 不銹鋼 |
| 助滑器 | PEEK |
| 波紋管 | AISI 633 不銹鋼 |
| 密封件 | 氟橡膠 |
| 插板固定螺釘 | A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜 |
| 手柄 | 強(qiáng)化聚酰胺 |
| 氣動(dòng)閥 | |
| 螺線管閥額定值 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)螺線管閥 | 24V - 15%/+ 10%，直流/交流，2.4 W |
| 位置指示器觸點(diǎn)額定值 | 12 - 30 V 直流/交流，大 500 mA，大 10 W |
| 氣動(dòng)供氣 | |
| 供應(yīng)壓力 | 58 psig（4 bar 壓力表壓力，5 bar 壓力，5 x 105 Pa） |
| 大供應(yīng)壓力 | 100 psig（7 bar 壓力表壓力，8 bar 壓力，8 x 105 Pa） |
| 氣動(dòng)接頭 | R1/8 英寸（閥的 1/8 英寸 NPT 在訂購(gòu)） |
