GMS（Gas Monitoring System）系統(tǒng)
氣體監(jiān)控系統(tǒng)（Gas Monitoring System)主要應(yīng)電子廠（半導(dǎo)體、太陽能電池板、液晶面板制造工廠 ）制程或?qū)嶒炇倚枨螅渖a(chǎn)或?qū)嶒炦^程需使用大量不同種類特殊氣體，這些氣體大多為有毒，腐蝕或易爆性之氣體，一旦發(fā)生氣體泄漏，在無警示狀況下，可能造成現(xiàn)場人員安全上極大的威脅，所以為確保人身安全并提供相關(guān)系統(tǒng)人員品質(zhì)控制操作依據(jù)，而設(shè)置氣體監(jiān)控系統(tǒng) ，GMS系統(tǒng)在工廠中擔(dān)任極重要之角色，能實時顯示不正常之氣體泄漏警報，提供監(jiān)控人員進一步之處置。
GMS包括GDS（Gas Detector System) and GIS(Gas Information System)
氣體監(jiān)控系統(tǒng)主要整合
l GAS DETECTOR：氣體泄露偵測器（ENVIR,GC,VMB,TOOL）
l EMO / LAU /UVIR
l 氣體供應(yīng)設(shè)備：GC/GR，BDGS，VMB/VMP etc.
l SCADA、Printer及相關(guān)接口設(shè)備
l PLC & Remote I/O 盤體的設(shè)備及軟件撰寫
l UPS不斷電系統(tǒng)
l 溫控系統(tǒng)：heating trace
l 其他：Scrubber, CCTV, etc.
