微小流量高精度檢測(cè)系統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器 響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動(dòng)
性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供*的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
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微小流量高精度檢測(cè)系統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器
型號(hào)變體
低壓損型號(hào)，最多60 psia（MCW系列）
高壓型號(hào)，160-320 psia（MCQ系列）
閥門(mén)內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）
性能選項(xiàng)
流量累加器
集成式電位計(jì)控制
高精度或自定義校準(zhǔn)
