美國艾利凱特氫氣過程量質(zhì)量流量控制器
性能
可用量程:0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標(biāo)簽)
可調(diào)比:200:1(MC系列)
標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
可重復(fù)性:0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
無需預(yù)熱時間
配件(需另行訂購)
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件