MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要： |
MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計、不僅確保的光學(xué)性能，還具有安全穩(wěn)定的機(jī)架結(jié)構(gòu)，使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使 MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，特別是 LCD 液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具。
MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡特點(diǎn)： |
采用前置低位粗微同軸調(diào)焦系列，配合渦輪渦桿的自鎖結(jié)構(gòu)，使之在超大負(fù)荷工作下也不會出現(xiàn)下滑現(xiàn)象， 以及長期使用的可靠性 |
超大行程移動平臺，移動范圍: 305mmX305mm, 可適用于 12”的晶圓、LCD 或FPD 檢測， 也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實(shí)現(xiàn)全行程范圍內(nèi)的快速移動。 |
多樣的照明器可供選擇：12V50W 鹵素?zé)裘鲌雎渖湔彰鳎?2V50W 鹵素?zé)裘靼祱雎渖湔彰鳎琇ED明場落射 照明，可以根據(jù)需要選擇，電器全部內(nèi)置主機(jī)，方便操作。 |
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器：采用精密軸承設(shè)計，秉承了麥克奧迪輕巧舒適的手感和良好的重復(fù)定位精度及同心精度。 |
MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡的規(guī)格參數(shù) |
MET80L | MET120L | |
光學(xué)系統(tǒng) | CCIS 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
目鏡 | 高眼點(diǎn)平場大視野，±5D 視度調(diào)節(jié)，10X/20，明場可選（10X/22） | |
物鏡 | 長距明場金相物鏡 5X/0.13，10X/0.30，20X/0.40 | |
觀察筒 | 30°傾斜鉸鏈?zhǔn)诫p目鏡筒；30°傾斜鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒 | |
雙目鏡筒瞳距 | 55~75mm | |
樣品厚度 | ≥ 38mm | |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位五孔物鏡轉(zhuǎn)換器 | |
中間體 | 12V50W 鹵素?zé)裘鲌雎渖湔彰鳎?/p> 12V50W 鹵素?zé)裘靼祱雎渖湔彰鳎?/p> LED 明場落射照明， 全部采用反射式柯拉照明，帶可調(diào)式可變視場光欄和可變孔徑光欄， 可配偏光附件 | |
偏光附件 | 附件式，檢偏器可 360 度旋轉(zhuǎn)，消光比≥ 10000 | |
粗微動調(diào)焦裝置 | 粗微同軸調(diào)焦，粗動調(diào)焦 3mm/ 轉(zhuǎn)，微動調(diào)焦 0.1mm/ 轉(zhuǎn)，0.001mm/ 格。 | |
機(jī)械移動載物臺 | 移動范圍 : 8”X 8”mm 選配：圓晶臺板 | 移動范圍 : 8”X 8”mm 選配：圓晶臺板 |
