M系列氣體質(zhì)量流量計同時實時測量質(zhì)量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內(nèi)置多種氣體校準(zhǔn)，使得這款流量計成為您實驗室的明星設(shè)備。
準(zhǔn)確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
使用簡單。只要您打開流量計，流量計便能顯示您所選工藝設(shè)備中的實時流量、壓力和溫度讀數(shù)。
連接。艾里卡特M系列氣體質(zhì)量流量計默認(rèn)采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數(shù)字工業(yè)或?qū)嶒炇揖W(wǎng)絡(luò)整合
可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：5-10ms
無需預(yù)熱時間
兼容氣體：98（MB系列）或130（MBS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
差壓（進口至出口）：75 psid
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
M系列氣體質(zhì)量流量計（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書
艾里卡特操作說明書
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
