微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一系列的改進(jìn),包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;
- 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;
- 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命。
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440 |
爐管尺寸 | Φ60*1000mm (Φ30/50/80/100mm可選) | |
可達(dá)溫度 | 1200℃(短期) | |
工作溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm | |
額定功率 | 3kW | |
適配電源 | AC220V 50Hz | |
溫控系統(tǒng) | K型熱電偶 集成式觸摸屏控制 | |
控溫精度 | ±1 ℃ | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有快開式密封法蘭 | |
外形尺寸 | 620*420*580mm | |
氣體量程 | 100~1000SCCM | |
氣路數(shù)量 | 2~4路(MFC) | |
氣路工作溫度 | 5~45℃ | |
VRD-8 | 承載量:1000Lbs;抽氣速率:10m³/h 極限真空度:10-1Pa | |
真空度 |