SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器的測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)，采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力：1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
