智能供氣系統(tǒng)
產(chǎn)品外觀 |
智能供氣系統(tǒng)簡(jiǎn)介 |
智能供氣系統(tǒng)以質(zhì)量流量控制器為核心部件,配有電磁閥、加濕裝置、控制系統(tǒng)等,用以實(shí)現(xiàn)智能供氣。
系統(tǒng)可按照比例亦可按照濃度和總流量進(jìn)行設(shè)置,以控制三路氣體的流量比例。其中控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了常用氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)自動(dòng)切換,濃度配比智能計(jì)算等。方便了用戶操作和使用。
技術(shù)參數(shù) |
系統(tǒng)供電:(220±22)VAC,(50±0.5)Hz;
外觀尺寸:(深)500X(寬)600X(高)X1300
流量規(guī)格:200SCCM;
準(zhǔn)確度:±1.5%F.S;
線性誤差:±1%F.S;
重復(fù)精度:≤0.2% F.S;
響應(yīng)時(shí)間(電特性):10s;
響應(yīng)時(shí)間(電特性):≤4s。
現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用 |
中國(guó)原子能科學(xué)研究院 1套