簡(jiǎn)單介紹
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅晶片（Silicon Wafer）檢測(cè)、液晶屏（LCD）檢測(cè)、導(dǎo)電粒子（Conductive Particles）檢查，實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域研究，可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉及偏光觀察。
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡性能特點(diǎn)：
★ 系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差、長(zhǎng)工作距、明暗場(chǎng)兩用物鏡，成像清晰、像面平坦
★ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng)，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
★ 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
★ 配備了6"帶離合器機(jī)械平臺(tái)，行程158*158mm，可快速移動(dòng)
★ 人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡臂，"Y"型底座，調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制，粗微調(diào)同軸
★ 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù)，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
★ 可選配攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等附件，拓展應(yīng)用領(lǐng)域
導(dǎo)電粒子顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：
光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡
無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差，長(zhǎng)工作距金相物鏡（明暗場(chǎng)兩用），5X、10X、20X、50X、80X
目鏡:高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡，PL10X，線視場(chǎng)φ22mm
       高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡，PL15X，線視場(chǎng)φ16mm
觀察筒:正像，鉸鏈?zhǔn)饺浚?5°傾斜，分光比：雙目99%，三目99%
照明系統(tǒng):反射式柯拉照明，明暗場(chǎng)切換，帶簡(jiǎn)易偏光接口，12V/100W鹵素?zé)簦A(yù)置中心
             采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能，帶針孔光欄
調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微調(diào)同軸，帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置
粗調(diào)行程：33mm（焦后1mm），微調(diào)精度：0.001mm
樣品高度：32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺(tái):6英寸矩形，機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)200mmX200mm，移動(dòng)行程：158mmX158mm
            低位同軸調(diào)節(jié)，帶離合器控制手柄，可快速移動(dòng)
機(jī)架:全新的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡臂，"Y"型底座，前置式操作控制
選購(gòu)附件:攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等
觀察筒:正像觀察筒，物的移動(dòng)與像的移動(dòng)方向一致，不會(huì)出現(xiàn)使用倒像觀察筒時(shí)物像方向相反而產(chǎn)生的錯(cuò)覺。避免操作失誤，提高工作效率。
           1、鉸鏈?zhǔn)接^察筒，25°傾斜，視度調(diào)節(jié)（±5）
           2、分光比：雙目99%，三目99%
           3、瞳距調(diào)節(jié)（54-75mm），無需筒長(zhǎng)補(bǔ)償
粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu):
         1、采用新型導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，粗微動(dòng)同軸
         2、低手位設(shè)計(jì)，操作舒適
         3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置
         4、調(diào)焦行程：33mm
         5、調(diào)焦精度：0.001mm
         6、樣品高度：32mm
機(jī)械移動(dòng)載物臺(tái):
         1、雙層機(jī)械移動(dòng)式，帶離合器控制手柄，可快速移動(dòng)
         2、特殊材料制造、特殊工藝處理，耐磨耐腐蝕
         3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄，操作更加舒適
         4、6英寸矩形，移動(dòng)行程：158mmX158mm
         離合器控制手柄--通過離合控制，可以脫開手輪傳動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)快速無阻移動(dòng)，提高大面積樣品檢測(cè)時(shí)的移動(dòng)效率
照明系統(tǒng):
         1、12V/100W鹵素?zé)?，預(yù)置中心
         2、90V-240V寬電壓，旋鈕式數(shù)字調(diào)光
         3、具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能，用于特定觀察或拍攝照片
         4、反射式柯拉照明，帶視場(chǎng)光欄與孔徑光欄，均可調(diào)中心
         5、推拉式針孔光欄，主要用于50X以上的物鏡，觀察高景深高對(duì)比度
物鏡轉(zhuǎn)換器:
        1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
        2、物鏡的安裝和操作更為便利
        3、高精度制造，保證系統(tǒng)齊焦
偏光裝置:
        1、選擇簡(jiǎn)易偏光附件可以實(shí)現(xiàn)偏光觀察
        2、S-PO起偏鏡，S-AN檢偏鏡