軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線CCD相機,實現(xiàn)了*的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測,并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準(zhǔn))的*能量分辨率進行分析,超過了WDS的能量分辨率。
性能特點
產(chǎn)品規(guī)格
能量分辨率0.3eV(Al-L 光譜圖73eV處測試)
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右側(cè))
FE-SEM的WDS接口(正面左后側(cè))
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機型
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
應(yīng)用領(lǐng)域
電子探針可以對試樣中微小區(qū)域(微米級)的化學(xué)組成進行定性或定量分析,可以進行點、線掃描(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。還能全自動進行批量定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡便、實驗結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點,在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益**地應(yīng)用,是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。