4200-SCS系統(tǒng)是用于器件、材料和半導(dǎo)體工藝電氣特性分析的完整解決方案。這種*的參數(shù)分析儀具有的測(cè)量靈敏
度和精度,同時(shí)集成了嵌入式Windows操作系統(tǒng)和吉時(shí)利交互式測(cè)試環(huán)境Interactive Test Environment,為用戶(hù)進(jìn)行半導(dǎo)體器件特性分析提供了直觀而高級(jí)的功能。它是一套功能強(qiáng)大的單機(jī)解決方案。要想獲取某種器件或材料的特性參數(shù),需要三種基本的電氣測(cè)量技術(shù)。4200-SCS提供了這三種功能:
● 精密直流電流-電壓(I-V)測(cè)量是實(shí)現(xiàn)器件電氣特性分析的基礎(chǔ)。
● 交流阻抗,包括大家熟知的電容-電壓(C-V)技術(shù),能夠提供直流測(cè)量本身無(wú)法提供的器件特性。
● 脈沖和瞬態(tài)測(cè)試增加了一個(gè)時(shí)域維度,支持器件的動(dòng)態(tài)特性分析。4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級(jí)的架構(gòu)。這使得它能夠準(zhǔn)確滿(mǎn)足當(dāng)前的測(cè)量需求,并通過(guò)擴(kuò)展?jié)M足后期的需求。它的9個(gè)儀器插槽可以混合配置4種核心測(cè)量模塊。
● 多達(dá)9個(gè)精密直流源-測(cè)量單元能夠提供和測(cè)量0.1fA到1A的電壓,或者1μV到210V的電壓。
● 利用4210-CVU(C-V模塊)可以方便的在1kHz到10MHz測(cè)試頻率下進(jìn)行交流阻抗測(cè)試。可以測(cè)量的電容范圍從aF級(jí)到μF級(jí)。
● 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進(jìn)行脈沖和瞬態(tài)測(cè)量。該模塊具有兩個(gè)獨(dú)立的電壓源,能夠以1V/ns的步幅調(diào)整電壓,輸出同時(shí)測(cè)量電壓和電流。當(dāng)安裝了多個(gè)模塊時(shí),它們內(nèi)部同步的精度小于3ns。
● 選擇兩種不同的數(shù)字示波器模塊能夠方便而高效地生成數(shù)字波形。