CVD/CVI/PECVD系統(tǒng)-儀表網(wǎng)

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設備特點1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空可達10-4Pa

CVD/CVI/PECVD系統(tǒng) 產品詳情

設備特點

1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空可達10-4Pa；
2.可配合壓強控制儀控制氣體壓力，實現(xiàn)負壓的精準控制；
3.數(shù)字質量流量控制系統(tǒng)是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
5.采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6.管路采用世界Swagelok卡套連接，不漏氣；
7.超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠；
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，更容易發(fā)生反應。

設備參數(shù)

類別	加熱爐					射頻電源	真空系統(tǒng)	混氣系統(tǒng)	壓強控制系統(tǒng)	尾氣處理系統(tǒng)
類別	溫度	加熱區(qū)	型式	管徑	長度	射頻電源	真空系統(tǒng)	混氣系統(tǒng)	壓強控制系統(tǒng)	尾氣處理系統(tǒng)
CVD	1200～1700℃	220～440mm	臥式、滑動式	Φ60～Φ100	600～1600	無	10Pa 1Pa 5*10-3Pa （可選）	MFC單路或多路控制	可選	過濾燃燒冷凝中和反應（可選）
CVI	1200～1700℃	220～440mm	立式、滑動式	Φ60～Φ100	600～1600	無
PECVD	1200℃	220～440mm	臥式、滑動式	Φ60～Φ100	1200～1600	300～500W

關鍵詞：真空泵控制系統(tǒng) 質量流量計流量計

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