10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，主要用于以下領(lǐng)域：
小批量生產(chǎn)
分析 (REM, TEM)
醫(yī)療技術(shù)
滅菌
研究和開發(fā)部門
考古
紡織技術(shù)
塑料技術(shù)
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| 等離子設(shè)備 Atto，配有手動控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng)，用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 | 等離子設(shè)備 Atto，配有外部 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng)，用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng) | 等離子設(shè)備 Atto，配有內(nèi)置式 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng)，用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng) |
系列 | Atto 手動控制 | Atto 外部PC控制 | Atto 集成PC控制 |
控制系統(tǒng) | 手動型、通過模擬計時器測定工藝時間 | PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP) | PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE) |
體積 | 10.5L | ||
真空腔室 | 玻璃材質(zhì)、∅ 211 mm、長 300 mm | ||
樣品支架 | 1個樣品支架 | ||
氣源 | 2 個由針型閥控制的氣體通道 | 2 個由 MFCs 控制的氣體通道 | 2 個由 MFCs 控制的氣體通道 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W,300W | ||
真空泵 | 8 m3/h | ||
外尺寸 | 寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm | ||
電源電壓 | AC220V | ||
