等離子設(shè)備的選裝件和配件
我們的等離子設(shè)備具有以下選裝件/配件 - 其在大多數(shù)情況下可以加裝 - 可用：
2.45 GHz-發(fā)生器（微波）
功率達(dá)到 0 - 850 瓦特，發(fā)生器擁有一個(gè) PC 接口。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?、清洗、蝕刻、半導(dǎo)體（前端）、半導(dǎo)體（后端）、等離子體聚合。
13.56 MHz-發(fā)生器
為了符合 DIN EN 55011 標(biāo)準(zhǔn)，我們的 13.56 MHz 發(fā)生器經(jīng)過石英穩(wěn)定化處理。阻抗匹配是固定的，手動(dòng)和自動(dòng)均可。 主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨⑶逑?、蝕刻、半導(dǎo)體（前端）、半導(dǎo)體（后端）、等離子體聚合。
40 kHz-發(fā)生器
僅可進(jìn)行自動(dòng)阻抗匹配，其功率具有兩個(gè)版本。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?、清洗、蝕刻、半導(dǎo)體（后端）、等離子體聚合。
2 路 2 通方向閥用于液體計(jì)量
閥門用于針對(duì)性計(jì)量單體。
活性炭過濾器
活性炭過濾器便于更換。
真空抽吸過濾器
防止真空泵被飛出的零部件損壞，其涂層防止受到污染。
自動(dòng)門
一扇在工藝流程開始時(shí)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉的門。
條形碼讀取器
用于跟蹤批次。
加熱型腔室
該腔室可加熱至約 80 °C。溫度可以調(diào)節(jié)。其適用于限定的工藝條件和較高的蝕刻速率。
偏置電壓測(cè)量系統(tǒng)
偏置電壓測(cè)量系統(tǒng)是一種測(cè)量?jī)x器，其適用于kHz 和 MHz 發(fā)生器。
鼓泡器瓶
鼓泡器瓶屬于聚合配件，并且被用于將液體單體連接至真空腔室。使用一種載運(yùn)氣體進(jìn)行工作，取代了簡(jiǎn)單的單體瓶。用單體沖洗載運(yùn)氣體，例如，氬氣。
蝶閥
為了對(duì)氣流進(jìn)行控制，使用了一個(gè)蝶閥，其在真空泵的吸氣管道內(nèi)部主要采用了真空技術(shù)。為此，需通過調(diào)節(jié)閥門來(lái)改變管道中的流動(dòng)阻力，該閥門會(huì)或多或少的封閉管道。
當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件
文件是按照機(jī)器指令 89/392/EWG 進(jìn)行編制的。其并不適用德語(yǔ)和英語(yǔ)。該文件并不會(huì)自行隨附于設(shè)備，必須單獨(dú)訂購(gòu)。
轉(zhuǎn)鼓
產(chǎn)品支架型用于裝載散裝件。
壓力計(jì)
Pirani 傳感器或者 Baratron 壓力指示器位于真空腔室中。
減壓器
減壓器用于連接 200 bar 的氣瓶。不同的氣體需要不同的減壓器。故此，針對(duì)惰性氣體 H2, O2, CF4, C4F8 具有一種減壓器，針對(duì) NH3 另具有一種減壓器。
連續(xù)生產(chǎn)系統(tǒng)
用于在一條自動(dòng)化加工生產(chǎn)線中整合一臺(tái)低壓等離子設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)備件套件或者 PFPE
備件套件包括：各 1 個(gè)夾緊環(huán)、1 個(gè)密封件、1 個(gè)不銹鋼波紋軟管（真空軟管）、1 塊窗玻璃、1 個(gè)夢(mèng)密封條、10 個(gè)用于等離子設(shè)備的小型熔斷器，標(biāo)準(zhǔn)套件還包含 1 升用于真空泵的礦物油，PFPE 套件還包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油。
標(biāo)簽打印機(jī)
在等離子處理之后自動(dòng)打印標(biāo)簽。
標(biāo)簽讀取器
用于對(duì)批次進(jìn)行跟蹤。
Faraday 盒 / 籠
用于電敏感零部件。將待處理的零部件置于 Faraday 盒中?？蓪⑵鋸恼婵涨皇抑腥コ?。
氣瓶架
固定于工作臺(tái)、架子或者墻壁條處?？缍葹?70mm。固定張力皮帶，不得活動(dòng)。其適用于所有氣瓶規(guī)格。
氣體檢測(cè)儀（德爾格）
在工作場(chǎng)所使用時(shí)的額外安全選裝件。
半自動(dòng)控制
關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/半自動(dòng)控制”下找到。
加熱板
將待處理的零部件置于加熱板上，可將其加熱至 150 °C，其適用于規(guī)定的工藝條件和較高的蝕刻速率。其具有兩個(gè)選裝件：
配備了溫度指示器，在真空腔室的內(nèi)部安裝了一個(gè)溫度傳感器，，借此可以對(duì)零部件的表面溫度進(jìn)行測(cè)量。 配備了集成于 PC 控制系統(tǒng)中的溫度指示器，還在真空腔室的內(nèi)部安裝了一個(gè)溫度傳感器，，借此可以對(duì)零部件的表面溫度進(jìn)行測(cè)量。 顯示屏上會(huì)顯示溫度。
現(xiàn)場(chǎng)安裝您的等離子設(shè)備
該選項(xiàng)包括了我們服務(wù)人員的差旅時(shí)間、工作時(shí)間以及差旅費(fèi)。
腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
閥門均為不銹鋼材質(zhì)，配管均為不銹鋼材質(zhì)。如果采用等離子體聚合法或者使用腐蝕性氣體，例如，NH3, H2O, CF4, SF6 的時(shí)候，則具有強(qiáng)制性要求。
客戶的產(chǎn)品支架
標(biāo)準(zhǔn)情況下，我們的設(shè)備總是和一個(gè)產(chǎn)品支架一同交付的。附加或者其他設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu) - 用于實(shí)現(xiàn)等離子設(shè)備的使用 - 可在與 Diener electronic 公司協(xié)商之后制作完成。
噴漆/玻璃板套件（無(wú) LABS 測(cè)試）
用于進(jìn)行油漆濕潤(rùn)干擾測(cè)試的配件。供貨范圍：5 灌噴漆，每灌 400 ml。100 塊玻璃板，每塊 90 mm x 110 mm。
真空腔室慢速通風(fēng)裝置
通過一個(gè)過濾器對(duì)真空腔室進(jìn)行緩慢的通風(fēng)。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)。
真空腔室的慢速抽吸裝置
通過旁路閥對(duì)真空請(qǐng)示進(jìn)行緩慢的抽吸。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)。
較長(zhǎng)的真空腔室 (Femto, Pico, Nano, ...)
真空腔室可以采用不銹鋼材質(zhì)、硼硅玻璃或石英玻璃材質(zhì)。腔室閉鎖件可選擇蓋子或者配有鉸鏈的門。真空腔室的長(zhǎng)度取決于您對(duì)于等離子應(yīng)用的需要。請(qǐng)和我們聯(lián)系。
功率指示燈
顯示發(fā)生器的功率。模擬指示器-儀表。
多層電極
多層電極適用于圓形和/或矩形真空腔室?？梢砸淮螌?duì)多個(gè)零部件進(jìn)行處理。應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)等離子工藝。請(qǐng)和 Diener electronic 公司就您個(gè)性化電極的確切結(jié)構(gòu)以及制作產(chǎn)品支架的其他材料方面進(jìn)行洽詢。
微波泄漏檢測(cè)儀
由于可能會(huì)用到危險(xiǎn)的輻射，所以需為微波設(shè)備安裝一個(gè)微波泄漏檢測(cè)儀。
單體瓶
聚合配件。用于將液態(tài)單體連接至真空腔室。
網(wǎng)絡(luò)連接
借此可將設(shè)備與計(jì)算機(jī)連接。
OES - 光發(fā)射光譜儀
對(duì)等離子工藝進(jìn)行監(jiān)控，以確保質(zhì)量。檢測(cè)等離子工藝的最終產(chǎn)物。OES 只能和一個(gè) PC 控制型設(shè)備一同使用。
PC 控制系統(tǒng)
關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/PC 控制”下找到。
PCCE-控制系統(tǒng)
基于 Windows CE 環(huán)境，配有觸摸面板。關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/PCCE 控制”下找到。
聚合配件
包括蒸發(fā)瓶、一個(gè)天平秤、計(jì)量泵、加熱器、可能還有支架。
工藝氣體-氣瓶
氧氣-氣瓶用作工藝氣體的連接，其為 2.5 和 10 升規(guī)格，氫氣-氣瓶的規(guī)格為 2 升，氬氣-氣瓶的規(guī)格為 5 升。 針對(duì)氣體供應(yīng)，需將特殊的運(yùn)輸條件考慮在內(nèi)。如果使用的是出租設(shè)備，則必須購(gòu)買氣瓶。
石英玻璃舟皿
共提供兩種規(guī)格。用于超高純度等離子工藝或者晶片處理。
RIE-電極
分為圓形和矩形兩種，均被不銹鋼材質(zhì)，可獲得較高的蝕刻速率。應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)楦飨虍愋院透飨蛲晕g刻。
具有氣體噴淋的 RIE 電極
矩形，不銹鋼材質(zhì)。通過均勻的氣體分布，可獲得較高的蝕刻速率。
卷到卷系統(tǒng)
例如，用于處理膜 / 引線框架。
氧氣發(fā)生器
環(huán)境空氣中會(huì)產(chǎn)生氧氣。型號(hào) Kr?ber O2。氧氣輸出率：3-6 l/min。
安全閥
用于采用，例如，氫氣、乙炔...
專用電極和產(chǎn)品支架
請(qǐng)和 Diener electronic 公司就您個(gè)性化電極的確切結(jié)構(gòu)以及制作產(chǎn)品支架的其他材料方面進(jìn)行洽詢。
特殊法蘭 / 其他法蘭
如果需要用到的接口數(shù)量超過準(zhǔn)備好的接口數(shù)量，則可以使用特殊法蘭。
特殊真空腔室
按照 DIN 12198 標(biāo)準(zhǔn)，在我們的設(shè)備附近（觀察窗）進(jìn)行了紫外線輻射測(cè)量。結(jié)果：無(wú)害。特殊真空腔室具有圓形配蓋子的結(jié)構(gòu)，以及矩形配門（門配有鉸鏈）的結(jié)構(gòu)，其為鋁制結(jié)構(gòu)，還可以通過開孔直徑和內(nèi)部大小來(lái)進(jìn)行區(qū)分。請(qǐng)和我們聯(lián)系。
標(biāo)準(zhǔn)電極，圓形或者矩形
不銹鋼板/鋁板材質(zhì)，適用于標(biāo)準(zhǔn)等離子工藝。
TEM-樣品架
特殊裝置，用于從外部導(dǎo)入等離子體腔室?？梢蕴峁┤魏纬叽?。請(qǐng)告知我們您的零部件的尺寸/圖紙。
溫度指示器
腔室溫度的溫度指示器，不含加熱板。真空腔室內(nèi)部安裝了一個(gè)溫度傳感器。可借此測(cè)量零部件的表面溫度。溫度指示器也可以集成于 PC 控制系統(tǒng)之中。會(huì)在顯示屏上顯示溫度。
測(cè)試墨水-套件
測(cè)試墨水用于對(duì)表面張力進(jìn)行簡(jiǎn)單分析。一個(gè)套件中包含了 28, 38, 56, 64, 72 和 105 mN/m。其他數(shù)值需按要求提供。
熱蒸發(fā)器
適用于具有較低蒸汽壓力的基材。 杯口直徑：16 mm，杯容量： 0,1 l.屏蔽等離子效果，控制溫度（ 500 °C ）和溫度上升速度（可達(dá) 250 °C/min ）。需通過小法蘭結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接。
真空腔室為玻璃材質(zhì)（硼硅或石英）
硼硅玻璃材質(zhì)的真空腔室適用于高純度等離子工藝。石英玻璃材質(zhì)的真空腔室適用于超高純度等離子工藝。
不銹鋼材質(zhì)的真空腔室
不銹鋼材質(zhì)的真空腔室適用于標(biāo)準(zhǔn)等離子工藝。
真空泵泵座
含礦物油或者 PFPE 油的旋片泵或干運(yùn)行泵。供貨時(shí)泵已經(jīng)充滿了油。
全自動(dòng)控制
關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/全自動(dòng)控制”下找到。
用于處理粉末的裝置
在一個(gè)旋轉(zhuǎn)式氣瓶中處理粉末。充注的時(shí)候，可以從設(shè)備中將氣瓶取出。
清洗袋
用于在清洗機(jī)中對(duì)小型零部件進(jìn)行預(yù)清洗。規(guī)格：500 mm x 300 mm. 最小訂購(gòu)量：20 件 -
水冷系統(tǒng)
配有滾輪的水-氣-冷卻裝置，適用于移動(dòng)式應(yīng)用。通過泵保護(hù)電路的 2 個(gè)轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)進(jìn)行無(wú)電位型連接。
為您的等離子設(shè)備提供維護(hù)服務(wù)
Diener electronic 公司提供的維護(hù)服務(wù)包含一種無(wú)縫銜接服務(wù)。換油、檢查所有連接、密封件、插頭等，泄漏率試驗(yàn)、校準(zhǔn)壓力傳感器以及功能檢查。關(guān)于維護(hù)和服務(wù)方面的更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊菜單項(xiàng)“咨詢/服務(wù)”。
清洗干燥器
用于在等離子處理之前對(duì)小型零部件進(jìn)行初步清洗。僅用于很臟的零部件。制造商： Miele: 型號(hào) WT 2670 WPM.
水冷式產(chǎn)品支架-板件
水冷式板件安裝于腔室底部，供貨時(shí)還包含了水泵和水箱。其用于對(duì)熱敏感的零部件進(jìn)行冷卻。
其他軟件功能
軟件可隨時(shí)擴(kuò)展其他選項(xiàng)。請(qǐng)告知我們您的要求。
額外的氣體通道
針型閥： 我們的設(shè)備可以配備任何數(shù)量的針形閥。標(biāo)準(zhǔn)情況下，F(xiàn)emto 型等離子設(shè)備配備了 1 - 3 個(gè)，可按照要求配備更多針型閥。
額外的 MFCs
MFCs: 在控制 PC 和 PCCE 的時(shí)候需要用到。我們的設(shè)備可以配備任何數(shù)量的質(zhì)量流量控制器 (MFCs)。
