德國Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的，是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業(yè)。
用途：
Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場合：
半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實驗等等。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有以下特點：
可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
Femto A |
Femto C |
Femto D
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Femto B
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Femto E |
Femto 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析
考古
汽車行業(yè)
研究和開發(fā)部門
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)
技術(shù)參數(shù)：
系列 | Femto |
控制系統(tǒng) | 半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 1.9~6L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門 |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調(diào)型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項。
