1、控制模式:開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成:可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現(xiàn)閉環(huán)控制,達到穩(wěn)定壓強的目的,
同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩(wěn)定,壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數:
閥門類型: 壓電晶體
可控制的氣體: 兼容各種材料
流量范圍: 0?500 SCCM
漏率: <1x10?9 scc/sec(1ATM HE
ON INLET)
響應時間: 2微秒
進氣壓力: 50 PSI
驅動要求:電壓: 0?100 VDC,電流:<10μA
操作溫度范圍: +10°C to+60°C
材料: 316不繡剛,氟橡膠,特富龍,
陶瓷片
進氣和出氣連接: 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接: 標準BNC
重量: 800克