產(chǎn)品介紹PEV-1壓電閥
PEV-1 壓電閥主要技術(shù)特點(diǎn):
1、控制模式:開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成:可與國產(chǎn)自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀配套使用,來實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的,
同時(shí)亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀
3、響應(yīng)時(shí)間快
4、性能穩(wěn)定,壓電陶瓷片壽命長
6、無機(jī)械連接件,無伺服馬達(dá),無磨損,在斷電的情況下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉的特點(diǎn)
PEV-1壓電閥技術(shù)參數(shù):
閥門類型: 壓電晶體
可控制的氣體: 兼容各種材料
流量范圍: 0?500 SCCM
漏率: <1x10?9 scc/sec(1ATM HE
ON INLET)
響應(yīng)時(shí)間: 2微秒
大進(jìn)氣壓力: 50 PSI
驅(qū)動(dòng)要求:電壓: 0?100 VDC,電流:<10μA
操作溫度范圍: +10°C to+60°C
材料: 316不繡剛,氟橡膠,特富龍,
陶瓷片
進(jìn)氣和出氣連接: 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接: 標(biāo)準(zhǔn)BNC
重量: 800克