干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)
穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，
檢漏低達 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
· 15 級的寬測量范圍
· 較短的抽氣和響應(yīng)時間
· 移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
· I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時間
· 抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
· 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
· 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
· 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
· 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
· 通過電子郵件進行軟件更新
· 含兩個燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
· 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果
典型應(yīng)用
· 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
· 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
· 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
· 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
· 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試
