干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)
穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，
檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測(cè)量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過(guò)結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
使用額外的 TC1000 測(cè)試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡(jiǎn)單、快速、精確的測(cè)試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
- 15 級(jí)的寬測(cè)量范圍
- 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
- 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
- I-CAL 確保了在所有測(cè)量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時(shí)間
- 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果
- 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
- 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡(jiǎn)單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
- 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
- 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測(cè)試
- 通過(guò)電子郵件進(jìn)行軟件更新
- 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
- 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測(cè)試漏孔確保了精確的測(cè)試結(jié)果
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無(wú)論是否具有自有泵支持
- 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用
- 在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏
- 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
- 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用 TC1000 測(cè)試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試
零件號(hào)
| Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
|---|---|
| 零件號(hào) | 明細(xì) |
| 550-100A | ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug |
| 550-101A | ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug |
規(guī)格
| 類(lèi)型 | Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
|---|---|---|
| 氦氣（真空模式）可檢漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
| 氦氣（真空模式）可檢漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
| 氦氣（吸槍模式）可檢漏率 | mbar?L/s | 8E-8 |
| GROSS 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 15 |
| FINE 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 2 |
| ULTRA 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 0.4 |
| 抽真空期間的抽氣能力 | m3/h | 25 at 50 Hz |
| GROSS 模式氦氣抽氣能力 | L/s | max. 8 |
| FINE 模式氦氣抽氣能力 | L/s | 7 |
| ULTRA 模式氦氣抽氣能力 | L/s | 2.5 |
| 可檢測(cè)質(zhì)量數(shù) | 2,3,4 amu | |
| 質(zhì)譜儀扇形場(chǎng) | 180° | |
| 燈絲離子源銥/氧化釔涂層 | 2 | |
| 內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔 | mbar?L/s | e-7 |
| 測(cè)試端口 | DN 25 KF | 1 |
| 可調(diào)觸發(fā)器 | 2 | |
| 接口 | RS 232 | |
| 圖形記錄器輸出 | V | 2 x10 |
| 輸入/輸出 | PLC compatible | |
| 允許的環(huán)境溫度（操作過(guò)程中） | °C | +10.....+40 |
| 保護(hù)類(lèi)型 | IP 20 | |
| 重量 | kglb. | 110 |
| 尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | mmin. | 1068x525x850 |
| 電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 功耗 | VA | 1100 |
