主機(jī)
| 型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| 總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
| 視場直徑 | 16um - 5,120um | |||||
| 幀率（激光觀察 ）[fps] | 3.25 / 55.6 | |||||
| 幀率 (彩色觀察) [FPS] | 30 | |||||
| 測量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
| 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
| 彩色 | ||||||
| 彩色-DIC | ||||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch）彩色：CMOS彩色相機(jī) | |||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5納米 | ||||
| 光柵尺 | 0.78納米 | |||||
| 動態(tài)范圍 | 16位 | |||||
| 可重復(fù)性σ *1 *2 *5 n-1 | 5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm | |||||
| 正確性 *1 *3 *5 | 0.15+L/100微米(L:測量值[毫米]） | |||||
| 拼接圖像正確性 *1 *3 *5 | 10X：5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm （L: 測量長度[μm]） | |||||
| 測量噪聲（Sq噪聲） *1 *4 *5 | 1納米 | |||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1納米 | ||||
| 可重復(fù)性 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm | |||||
| 精度 *1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5％ | |||||
| 拼接圖像精度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [mm]) | |||||
| 單次測量時測量點的數(shù)量 | 4096 x 4096像素 | |||||
| 測量點的數(shù)量 | 3600萬像素 | |||||
| XY載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? | 不適用 |
| 工作范圍 | 100×100毫米電動 | 100×100毫米手動 | 300 X300毫米電動 | 100×100毫米電動 | 100×100毫米手動 | |
| 樣品高度 | 100毫米 | 40毫米 | 37毫米 | 210 毫米 | 150毫米 | |
| 激光光源 | 波長 | 405納米 | ||||
| 輸出 | 0.95毫瓦 | |||||
| 激光分類 | 2類（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | |||||
| 彩色光源 | 白光LED | |||||
| 電氣功率 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約31公斤 | 約32公斤 | 約50公斤 | 約43公斤 | 約44公斤 |
| 控制箱 | 約12公斤 | |||||
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C, 濕度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測量時超過20次。
* 3 在使用LEXT專用物鏡測量時。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測量時的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認(rèn)證體系保證。
物鏡技術(shù)規(guī)格
| 系列 | 型號 | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（毫米） |
| UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| LEXT專用物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
| LEXT專用物鏡（高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
| LEXT專用物鏡（長工作距離型） | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
| 超長工作距離物鏡 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
| 適用于LCD透鏡的長工作距離 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應(yīng)用軟件
| 標(biāo)準(zhǔn)軟件 | OLS50-BSW | 數(shù)據(jù)采集app 分析app (簡單分析) |
| 電動載物臺套裝應(yīng)用*1 | OLS50-S-MSP | |
| 擴(kuò)展分析應(yīng)用*2 | OLS50-S-AA | |
| 薄膜厚度測量 | OLS50-S-FT | |
| 自動邊緣測量應(yīng)用 | OLS50-S-ED | |
| 顆粒物分析應(yīng)用 | OLS50-S-PA | |
| 多文件分析應(yīng)用 | OLS50-S-MA | |
| 球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用 | OLS50-S-SA | |
* 1包括自動拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
