高溫?cái)?shù)字式質(zhì)量流量控制器
HORIBA高溫質(zhì)量流量控制器 SEC-8460F SEC-8450F SEC-8460F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作,用于半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體加工在內(nèi)的各種工作任務(wù)。
事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類: 流體控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
HROBA STEC 高溫質(zhì)量流量控制器 SEC-8440F SEC-8450F SEC-8455F SEC-8460F SEF-8440F SEF-8450F SEF-8455F SEF-8460F SEC-8470F SEC-8440D SEC-8450D SEC-8455D SEC-8460D SEC-8470D
Analog (0 - 5 VDC) /Digital (RS-485 F-NET)DeviceNET™EtherCAT®NoNoNoSwagelok, VCRMetalPiezo electric - Normally closedand normally openMount-free5 SCCM - 150 SLM15 - 120°CS