HORIBA 提供多種質(zhì)量流量控制產(chǎn)品,包括質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量控制產(chǎn)品都具有高精度、快速響應(yīng)的特點(diǎn)。氣流控制器的產(chǎn)品范圍包括兩類傳感器:壓差式傳感器和熱式傳感器,以及多種通信方式:模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™、PROFIBUS® 和 EtherCAT®。選擇高精度壓電陶瓷閥或更傳統(tǒng)的電磁閥控制工藝氣體。
根據(jù)氣體或液體兼容性要求,可提供各種金屬密封件或 VitonTM 密封件。
提供調(diào)節(jié)比達(dá) 10:1 的各種設(shè)備。
如對(duì)靈活性有要求,可以選用多氣體(用戶可以設(shè)定氣體類型)和多量程(用戶可以設(shè)置流量范圍)設(shè)備。多氣體、多量程流量控制器還可減少庫(kù)存量。