盡管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV緊湊式鍍膜機(jī)的SP-010濺射頭的形狀小巧,它仍然具備在真空中進(jìn)行高質(zhì)量濺射鍍膜所需的特性。
此模塊把磁控管、靶材、擋板、工藝壓力調(diào)節(jié)器和電源器件*整合到一個(gè)裝置中,裝置準(zhǔn)備就緒,隨時(shí)可以運(yùn)行,并且便于維護(hù)。
通過接口供電、供氣和傳送信號(hào),只需一項(xiàng)手動(dòng)操作,就可以把系統(tǒng)設(shè)置成濺射裝置。
亮點(diǎn):
· 以電子方式控制工藝真空度,容器內(nèi)壓力穩(wěn)定。
· 設(shè)有環(huán)形氣孔,工作氣體分布均勻。
· 對(duì)碎片進(jìn)行探測和監(jiān)控,操作。
· 具備靶材冷卻功能,帶有溫度監(jiān)測,運(yùn)行順暢。
· 采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口,與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機(jī)配套使用。