| 名稱 | 工具顯微鏡 | 工具顯微鏡 |
| 型號 | STM-2015M | STM-3020M |
| 貨號 | 532-180 | 532-190 |
| X/Y軸行程 | 200x150mm | 300x200mm |
| 分辨率 | 0.0001 mm | |
| 鎖緊裝置 | X-Y采用精密絲杠傳動，工作臺帶快慢速鎖緊裝置，無任何回程誤差產(chǎn)生 | |
| X/Y軸精度 | (2+L/200) μm; L: 測量長度 | |
| 鏡筒 | 反像 (可選正像三目鏡筒) | |
| 目鏡 | 雙目廣角目鏡WF10X/22mm | |
| 物鏡 | 標(biāo)配:5X,10X, 20X，50X, 可選:100X | |
| 透射光源 | 可調(diào)LED光源 | |
| 表面光源 | 可調(diào)LED光源 | |
| Z-軸行程 | 標(biāo)配行程:150mm, 可選200mm行程 | |
| 調(diào)焦方式 | 手動調(diào)焦 (粗調(diào)/微調(diào)) | |
| 數(shù)顯表功能 | 清零, 方向置換 | |
| 儀器電源 | AC220/50HZ; AC110V/60Hz | |
| 可選附件 | 高精度旋轉(zhuǎn)工作臺 RT4(D:165mm), RT5(262mm) | |
| 數(shù)據(jù)處理器DP300 | ||
| 測量軟件 QM2.0 | ||
| 0.5X適配鏡和CCD相機 | ||
光學(xué)參數(shù)：
| 名稱 | 物鏡 | 目鏡WF10/22 | |||||
| 數(shù)值孔徑 N.A. | 有效工作距離W.D.(mm) | 焦距 f(mm)’ | 分辨率 R(um) | 景深 ±△p(um) | 總放大倍數(shù) | 物方視場（mm） | |
| 5x | 0.15 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | 50x | ¢4.4 |
| 10x | 0.3 | 6.3 | 20 | 0.9 | 3.1 | 100x | ¢2.2 |
| 20x | 0.4 | 10.3 | 10 | 0.69 | 1.8 | 200x | ¢1.1 |
| 50x | 0.8 | 2 | 4 | 0.34 | 0.4 | 500x | ¢0.44 |
| 100x | 0.8 | 1.96 | 2 | 0.34 | 0.2 | 100x | ¢0.22 |
