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  • 入駐年限1
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  • 產(chǎn)品數(shù)量65
  • 人氣值672
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URE-2000B 產(chǎn)品詳情

主要產(chǎn)品技術(shù)特征及指標(biāo):

●采用技術(shù)--積木錯(cuò)位蠅眼透鏡(109個(gè))消衍射和線條陡直增強(qiáng)技術(shù),
提高實(shí)用光刻分辨力。
●采用i線(365nm)紫外曝光光源和*的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高均勻照明,光
源聚光角小,平行性好。
●配備雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和CCD圖像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),采用22寸寬屏液晶顯示
器,可同時(shí)觀察實(shí)時(shí)對(duì)準(zhǔn)過程,也可存儲(chǔ)記錄曝光結(jié)果。
●采用三點(diǎn)式加球氣浮調(diào)平機(jī)構(gòu)自動(dòng)樣片調(diào)平,對(duì)大小樣片具有高調(diào)平
精度。
●曝光參數(shù)設(shè)定采用計(jì)算機(jī)控制,智能化過程操作,菜單界面友好。
●關(guān)鍵器件采用進(jìn)口國(guó)際品牌產(chǎn)品,整機(jī)可靠性高。
●支持真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種
功能。
●曝光面積:150mm×150mm;對(duì)準(zhǔn)精度:≤±0.8 μm。
●掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸。
●光刻分辨力:0.8-1 μm(膠厚2 μm的正膠)。
●曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式),0.1s-9999s任意設(shè)定,設(shè)定精度0.1s。
●膠厚:500 μm(SU8膠,用戶提供勻膠條件)。
●汞燈功率:1000W(直流,德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)。
● 照明不均勻性: 2.5%(Φ100mm 范圍),5%(Φ150mm范圍)。


關(guān)鍵詞:顯微鏡
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