儀器簡介
Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)是市面上很具操作性的飛秒系統(tǒng),采用結(jié)構(gòu)緊湊、全密閉的工業(yè)級(jí)激光源,無需二次校準(zhǔn)和清潔維護(hù)。系統(tǒng)提供多種波長可選,如1028nm、257nm、206nm,或配置多波長切換控制,相對(duì)應(yīng)的能量密度為10J/cm2(1028nm)、5J/cm2(257nm)、3J/cm2(206nm),在穩(wěn)定運(yùn)行情況下剝蝕穩(wěn)定性RSD能達(dá)到0.1%。同時(shí)系統(tǒng)配備HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池,提供快速?zèng)_洗效率和持續(xù)的剝蝕環(huán)境。
注:使用飛秒激光剝蝕系統(tǒng)用于化學(xué)分析受美國保護(hù)(號(hào)5656186及RE37585,由美國密歇根大學(xué)持有),隸屬于CETAC品牌的Teledyne Photon Machines持有密歇根大學(xué)提供的許可,用于提供飛秒激光剝蝕系統(tǒng)。
應(yīng)用范圍
基礎(chǔ)分析 | 半導(dǎo)體材料分析 |
地質(zhì)樣品分析 | 同位素比值研究 |
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樣品種類
半導(dǎo)體材料;透明和半透明類樣品;石英;骨頭/化石;金屬基材料等。
飛秒激光剝蝕系統(tǒng)主要性能參數(shù)
■ 激光源為Light Conversion-Pharos 2mJ或Pharos SP 1.5 mJ
■ 激光波長1028nm、257nm、206nm可選
■ 脈沖持續(xù)時(shí)間<190fs-10ps
■ 脈沖能量可達(dá)2mJ
■ 可調(diào)脈沖頻率1-200kHz(步進(jìn)1Hz)
■ 波長轉(zhuǎn)換選項(xiàng)廣(諧波發(fā)生器、OPA、NOPA、連續(xù)發(fā)生器)
■ 只經(jīng)歷一次光學(xué)折射以減少脈沖展寬
■ 每個(gè)波長都有獨(dú)立的光路
■ 獨(dú)立的視頻和激光光學(xué)控制單元,能夠更好的查看樣品剝蝕點(diǎn)
■ 連續(xù)可調(diào)光斑大小1-65μm
■ 兼容HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池
■ 集成的冷卻系統(tǒng)減少實(shí)驗(yàn)室空間