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  • RTA系列快速熱退火爐

RTA RTA系列快速熱退火爐

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號RTA
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-01
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限20
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量54
  • 人氣值1297
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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司由瑞典Hot Disk有限公司,英國THT有限公司共同注資成立的。公司開發(fā)、制造并銷售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器,同時是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM+Raman+IR+SEM/SPM一體連用測試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶,并在英國、美國、德國、日本等二十個國家和地區(qū)設(shè)立了分支機構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開發(fā)、制造并銷售基于瞬變平面熱源技術(shù)(TPS)的熱導(dǎo)率、熱擴散率和比熱容的測試儀器;英國THT公司是一家專業(yè)開發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢和產(chǎn)品檢測服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場光學(xué)顯微鏡(NSOM)技術(shù)和原子力顯微鏡(AFM)相技術(shù)相結(jié)合的*,NANONICS憑借著實力和品質(zhì),其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè),從生物學(xué)到半導(dǎo)體,從化學(xué)制品到無線電通訊,應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù),包括Nanonics系列電鏡(AFM、SPM)與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機,具有很高的性價比和競爭力。


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RTA系列快速熱退火爐
RTA系列快速熱退火爐 產(chǎn)品詳情

RTA系列快速熱退火爐

RTA系列可處理2~12 英寸(50~300mm)的樣品,10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu),結(jié)合紅外加熱的高能量密度,近紅外的波長快速升溫特點,搭配高精度,快速響應(yīng)的溫控器進行精確溫度控制。

RTA系統(tǒng)可滿足用戶對于工藝配方的控制(溫度控制,升降溫速率控制,氣氛及氣體流量控制等)。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式

應(yīng)用

· 離子注入后的活化退火

· 沉積氧化膜的退火

· 歐姆電極合金化

· PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

· 硅化物及自對準硅化物的生成

· 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

· 超淺結(jié)的生成

· 鐵電電容器沉積

· 柵氧化膜的生成

特點:

· 升溫速率可達200℃/s

· 可搭配自動傳樣機器人

· 可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 各個加熱區(qū)的燈管功率單獨可控,可以對不同尺寸的樣品實現(xiàn)均勻加熱

參數(shù):

關(guān)鍵詞:電容器
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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