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蔡司電子顯微鏡EVO MA 10/LS 10是高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。MA 10用于材料領(lǐng)域,LS 10用于生命科學(xué)領(lǐng)域。該系列電鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設(shè)計(jì),提供高低真空成像功能,可對各種材料表面作分析,并且具有業(yè)界的X射線分析技術(shù)。革命性的Beamsleeve的設(shè)計(jì),確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像,同時(shí)還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護(hù))成像分析。
世界光學(xué)品牌,可見光學(xué)和電子光學(xué)的,其電子光學(xué)前身為LEO(里奧),更早叫Cambridge(劍橋)和ZEISS。1965年推出世界臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡;1985年推出世界上臺(tái)數(shù)字化掃描電鏡。
一、蔡司電子顯微鏡EVO MA 10/LS 10用途
掃描電鏡廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體 料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
二、蔡司電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
1、分辨率:2.0nm @ 30KV(SE with Lab6 option) 3.0nm @ 30KV(SE and W) 4.5nm @ 30KV(VP with BSD)
2、加速電壓:0.2—30KV
3、放大倍數(shù):7—1000000x
4、視野b圍:6mm
5、X-射線參數(shù):8.5mm WD,35度接收角
6、壓力范圍:10—400Pa(LS10:10-3000Pa)
7、工作室:310mm(φ)×220mm(h)
8、5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái):X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°
9、試樣高度:100mm 試樣大直徑:200mm
10、系統(tǒng)控制:基于Windows XP 的SmartSEM
三、蔡司電子顯微鏡主要特點(diǎn)
1、可變壓力下操作
2、大移動(dòng)平臺(tái)
3、快速抽真空
4、未來的保證,可升級為水蒸氣擴(kuò)展圖像
5、高亮度LaB6資源選擇
6、光線套選擇
四、蔡司電子顯微鏡技術(shù)優(yōu)勢
1、通過網(wǎng)絡(luò)可遠(yuǎn)程控制
2、可移動(dòng)大平臺(tái)
3、通用圖像處理
4、改進(jìn)了低真空圖像
5、X-射線分析技術(shù)